武志鹏
- 作品数：51 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信机械工程更多>>
- 基于差分进化算法的控制器自动调参方法
- 本公开提供了一种基于差分进化算法的控制器自动调参方法，包括：在启动超精密运动系统前，确定当前应用环境下超精密运动系统的控制器的第一优化目标；根据第一优化目标，基于离线差分进化算法优化控制器的控制参数，使控制器基于控制参数...
- 李爱琳李璟朱世懂武志鹏
- 基于OpenVPX架构的测控系统同步控制系统
- 本发明公开了一种基于OpenVPX架构的测控系统同步控制系统，包括：硅片对准测量分系统，内置有对准测量并行计算板卡；工件台位置测量分系统，与硅片对准测量分系统通过光纤数据通道和外同步总线实现互连；以及系统同步控制时序，基...
- 谢冬冬赵晓东李璟齐月静武志鹏丁敏侠齐威朱世懂
- 文献传递
- 基于同步性能综合指标的超精密运动台迭代学习控制
- 2025年
- 超精密运动台是光刻机的关键组成部分,包括工件台和掩模台,二者的同步性能直接影响光刻机的套刻精度和关键尺寸均匀性.针对工件台和掩模台的同步控制问题,提出一种基于同步性能综合指标的迭代学习控制(MASD-ILC),能够减小同步误差,且有效抑制推力扰动.验证所提方法的学习律沿时间轴和迭代轴的收敛性并给出收敛条件,分析学习增益和权重系数对学习律收敛性的影响,通过仿真验证所提出方法的有效性.与传统基于误差的迭代控制(e-ILC)相比,所提出的MASD-ILC收敛速度更快、收敛误差更小、鲁棒性更好.基于MASD-ILC的系统经过迭代学习,同步性能综合指标从31.56 nm降低到0.10 nm,存在推力扰动和模型不确定时,MASD-ILC的收敛速度和收敛误差不受影响.
- 周昕齐月静武志鹏齐威李爱琳
- 关键词：光刻机工件台迭代学习同步控制
- 精密运动平台的运动轨迹规划方法
- 本发明公开了一种精密运动平台的运动轨迹规划方法，包括确定运动轨迹约束，其中，运动轨迹约束包括第一参数、第二参数、第三参数；向运动轨迹函数中输入第一参数、第二参数、第三参数，输出随运动时间变化的运动轨迹理想位置曲线，其中，...
- 李爱琳李璟丁敏侠武志鹏
- 文献传递
- 用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法
- 一种用于光刻机调焦调平系统的光电探测器及其使用方法，光电探测器包括：光电转换模块，用于将光刻机调焦调平系统产生的测量光转换为多路模拟电信号；同步模数转换模块，用于分别将光电转换模块输出的多路模拟电信号转换为多路数字电信号...
- 龚士彬谢冬冬武志鹏马向红王丹宗明成
- 文献传递
- 六自由度调整装置
- 本发明提供了一种六自由度调整装置，涉及精密机械技术领域。该六自由度调整装置包括线性调整模块(1)，用于实现待调整光学元件在X向、Y向和Z向的位移调整；角度调整模块(2)，设置于线性调整模块(1)的下部，用于实现待调整光学...
- 齐威李璟陈进新苏佳妮丁敏侠武志鹏
- 文献传递
- 硅片形貌图构建方法及装置
- 本说明书实施例提供了一种硅片形貌图构建方法及装置，其中，方法包括：采集硅片表面高度，并沿工作台扫描方向进行平均化处理，绘制硅片高度图；基于所述硅片高度图，进行曝光狭缝区域的平面拟合，绘制硅片形貌图；基于所述硅片形貌图，计...
- 武志鹏齐月静徐天伟王丹孟璐璐
- 一种用于精密运动控制的变结构抗积分饱和方法
- 一种用于精密运动控制的变结构抗积分饱和方法，包括：根据精密运动平台机械台体参考位置和实际位置之间的位置偏差，得到精密运动平台机械台体的控制量；将控制量经过预设饱和环节以及超前饱和环节，判断控制量是否处于即将积分饱和的状态...
- 武志鹏李璟谢冬冬齐月静马向红齐威
- 文献传递
- 一种位置探测信号的分析方法
- 本公开提供一种位置探测信号的分析方法，包括：获取位置探测信号的信号特性；根据所述信号特性，使用小波变换对所述位置探测信号进行时频分析，得到时频信息；根据所述时频信息，分析得到所述位置探测信号的畸变信息以及图形标记信息。在...
- 武志鹏李璟丁敏侠马会娟杨光华钟丽娜
- 文献传递
- 对准信号数字化同步解调方法及装置
- 本发明公开了一种对准信号数字化同步解调方法及装置，该方法包括：对对准调幅信号进行数字化采样，得到对准调幅数字信号；在数字信号处理器中对该对准调幅数字信号和两个正交化本地参考信号分别进行混频处理，得到两个上、下边带信号；该...
- 赵晓东谢冬冬李璟齐月静武志鹏齐威魏志国王丹
- 文献传递
