宗明成
- 作品数：53 被引量：30H指数：4
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 一种减振装置
- 本发明提供了一种减振装置，包括：壳体由上壳体、下壳体套接构成，背部具有多个通孔，壳体的前侧面顶部设置有多个安装孔，所述通孔与所述安装孔数量相同；弹簧卡块嵌设在所述安装孔内；三角弹簧组件，三角弹簧组件卡设在所述壳体内，其中...
- 齐威杨光华孟璐璐李璟宗明成齐月静王宇卢增雄陈进新苏佳妮张清洋
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- 一种活动密封装置
- 本发明提供了一种活动密封装置，应用于具有密封要求和活动开口的系统，包括：活动门，活动门设置在所述系统的腔体外侧，对所述腔体进行密封；十字转盘，十字转盘设置在所述活动门的中心位置，与所述活动门可转动连接；拉杆机构，拉杆机构...
- 齐威孟璐璐李璟齐月静宗明成王宇杨光华陈进新苏佳妮张清洋卢增雄
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- 一种多轴干涉仪测量装置
- 本发明实施例提供的一种多轴干涉仪测量装置，包括：平台，所述平台上设置有导轨；可调方台结构，所述可调方台结构包括四个高度可调的方台，所述可调方台分别通过滑轨与所述平台连接；跨度可调的龙门结构，所述龙门结构设置在所述可调方台...
- 齐威孟璐璐李璟齐月静宗明成杨光华卢增雄魏志国
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- 一种EUV光源污染物收集装置
- 本发明公开了一种EUV光源污染物收集装置，应用于X射线或者EUV发光装置，其中，所述EUV发光装置包括：一激光源，一真空腔，一集光镜，一喷嘴，其中，EUV光源污染物收集装置包括：一收集罩，收集罩位于真空腔内，用于在激光束...
- 宗明成孙裕文李世光黄有为
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- 基于空间分光的纳米级调焦调平测量技术被引量：13
- 2016年
- 随着半导体制造步入1xnm技术节点时代,调焦调平系统的测量精度达到几十纳米。在纳米尺度范围内,集成电路(IC)工艺对调焦调平测量精度的影响很大。提出一种基于光学三角法和叠栅条纹法的调焦调平测量技术,利用空间分光系统将两组位相差为π的叠栅条纹同时成像到两个探测器上,通过归一化差分的方法计算硅片高度,可有效降低调焦调平测量技术对IC工艺的敏感度,尤其是IC工艺导致的光强变化的敏感性。实验结果表明,该系统测量重复性精度为8nm(3σ),线性精度为18nm(3σ)。当测量光强变化达90%时,该测量技术引起的线性精度变化为15nm(3σ);当光强变化为65%时,线性精度变化小于1nm(3σ)。
- 孙裕文李世光宗明成
- 关键词：集成电路工艺
- 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置
- 本发明公开了一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，涉及光学性能参数检测技术领域，所述装置包括：微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，所述下层气浴单元...
- 齐威孟璐璐宗明成齐月静李璟王宇卢增雄杨光华张清洋苏佳妮陈进新
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- 一种图像自动对焦方法和设备
- 本发明涉及图像采集技术领域，尤其涉及一种图像自动对焦方法和设备。所述方法包括：获得第一图像，根据所述第一图像获得第一目标图像；根据所述第一目标图像获得第一显著区域图像；获得所述第一显著区域图像的最小外接矩形区域；将所述最...
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- 一种反射式样品形貌测量装置及方法
- 本发明提供了一种反射式样品形貌测量装置及方法。所述装置包括：顺次设置的照明组件、投影标记组件、投影光学组件、探测光学组件、探测标记组件、和数据采集组件；并在所述投影光学组件和所述探测光学组件之间的光路上设置待测样品。通过...
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- 调焦调平传感器增益系数工艺相关性研究被引量：4
- 2022年
- 针对先进光刻调焦调平传感器系统的增益系数工艺相关性开展理论仿真与实验研究。建立了增益系数工艺相关性理论模型,仿真分析了调焦调平传感器增益系数与测量误差随不同光刻工艺材料膜层厚度的变化规律。在自研实验系统上对表面涂覆不同厚度SiO_(2)薄膜的硅片样品进行了实验验证,发现实验与理论仿真得到的增益系数与测量误差随膜层厚度的变化规律一致。仿真与实验研究结果表明,调焦调平传感器的工艺相关性测量误差在SiO_(2)膜层厚度为250 nm和690 nm附近时分别出现约55.9 nm和36.6 nm的误差峰值。采用表面覆盖特定膜层的硅片来标定光刻机调焦调平传感器,可以有效减小增益系数工艺相关性的影响和测量误差。本研究结果对于光刻精密对焦控制、光刻工艺优化具有重要的参考意义。
- 孙生生王丹宗明成
- 关键词：增益系数
- 一种平凸透镜对心安装装置
- 本发明涉及光学技术领域，尤其涉及一种平凸透镜对心安装装置，用于将平凸透镜对心安装在透镜筒内，所述安装装置包括：前定心筒，平凸透镜与前定心筒通过配合面重合保证同轴对心；后定心筒，后定心筒位于前定心筒的后方，前定心筒与后定心...
- 宗明成宋泽宇魏志国李世光
- 文献传递
