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杨建忠

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中华人民共和国工业和信息化部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇集成电路
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机
  • 1篇分步光刻机

机构

  • 1篇中华人民共和...

作者

  • 1篇段立安
  • 1篇杨建忠
  • 1篇李晋湘
  • 1篇周得时
  • 1篇李毅杰
  • 1篇王作义
  • 1篇王志越

年份

  • 1篇2000
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
BG-102分步光刻机
李晋湘周得时段立安王志越杨建忠王作义李毅杰李勇刚等
BG-102型分步光刻机是0.8-1微米超大规模集成电路和ASIC专用电路最关键的光刻工艺设备。它采用紫外光进行照明，将电路图形掩膜版上的图像缩小5倍投影到硅片上光刻出电路芯片，通过精密伺服系统控制的X-Y工作台实现整个...
关键词：
关键词：分步光刻机集成电路
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