您的位置： 专家智库 > >

梁勇

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电极
  • 1篇电极结构
  • 1篇淀积
  • 1篇势垒
  • 1篇肖特基
  • 1篇肖特基二极管
  • 1篇金属
  • 1篇硅表面
  • 1篇二极管

机构

  • 1篇杭州士兰集成...

作者

  • 1篇梁勇
  • 1篇王平
  • 1篇何金祥
  • 1篇吴志伟

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
一种肖特基二极管的正面电极结构及其工艺制造方法
本发明公开了一种肖特基二极管的正面电极工艺方法及其电极结构，所述的方法包括常规的外延、氧化、一次光刻、硼注入、退火、二次光刻、二氧化硅腐蚀、势垒淀积、势垒合金、势垒腐蚀步骤外，本发明采用了清洗，依次真空蒸发接触层金属Ti...
吴志伟梁勇王平何金祥
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0