搜索到69篇“ 叠栅条纹“的相关文章
- 一种多波长叠栅条纹阵列标记对准调平系统及方法
- 本发明公开一种多波长叠栅条纹阵列标记对准调平系统及方法，包括扫描运动台、掩模台、激光光源、耦合器、准直扩束器、掩模对准标记光栅、基片对准标记光栅、分光棱镜、相机。激光光源控制发出平行光源，通过耦合器进行光束耦合，再经过准...
- 周吉张凯瑞刘俊伯金川李昱阳俞大杰
- 基于叠栅条纹投影成像的差动式光栅位移测量系统
- 2024年
- 为突破传统光栅位移测量系统依赖四裂相正弦波光电信号测量的局限,提出了一种基于叠栅条纹投影成像的差动式光栅位移测量方法。根据光栅偏振光干涉原理,利用图像处理方法和叠栅条纹的位移放大特性,规避了当前光栅的加工水平对高精度位移测量的限制,设计了叠栅条纹投影成像的高分辨率单光栅位移光学感知系统,实现了4倍光学细分位移信号的获取,并利用CMOS图像探测器完成了位移信号的图像式转换。推导了图像式位移感知信号的数学模型,从叠栅成像的光学机理出发,对光栅这一核心元件的刻划误差、平整度误差、装调误差等进行了具体的解算,并对系统进行了仿真模拟和设计性能的分析,进一步阐述了系统动态工作的最大允许速度与帧率之间的关系,在0.048 mm/s的最大允许速度下,该系统的基础分辨率可达2.075μm,细分后分辨率可达纳米/亚纳米量级。
- 姚云飞高旭
- 关键词：物理光学相移
- 一种基于数字叠栅条纹的光刻对准系统
- 本实用新型公开了一种基于数字叠栅条纹的光刻对准系统，包括接收不同轴向设置的曝光光源和对准光源的第一分束器；数字微反射镜接收经第一分束器反射的对准光源，对准光源依次通过第一透镜和第二分束器，将数字微反射镜中生成的数字光栅投...
- 薛梓佳蒋文波王画然
- 一种基于超分辨率的叠栅条纹图像处理方法被引量：1
- 2019年
- 针对叠栅条纹图像在精密测量方面的应用需求,提出了一种基于图像局部自相似性和去块效应后处理的超分辨率算法。该算法利用叠栅条纹图像的局部自相似性,首先对原始低分辨率条纹图像插值,得到初始高分辨率图像,然后寻找各高分辨率图像块对应的低分辨率最优匹配块,从高、低分辨率图像块对中提取先验知识,完成单帧图像的超分辨率重建。本文算法对图像进行了块操作,在重建结果中引入了块效应。针对该问题,同时提出了一种能够快速消除块效应的后处理算法。结果表明,将本文两种算法结合使用,能够有效提高图像质量,同时消除重建图像中块效应的影响。本文算法不需要借助外部图像,计算复杂度低,适用于叠栅条纹图像超分辨率重建。
- 李默晶王志乾杨文昌刘绍锦
- 关键词：图像处理叠栅条纹超分辨率自相似性块效应
- 基于方形孔径微透镜阵列二维叠栅条纹的微小角度测量被引量：5
- 2018年
- 提出了一种利用方形孔径微透镜阵列和微图形阵列产生的二维叠栅条纹测量微小角度的方法。分析了不同尺寸阵列产生的二维叠栅条纹的节距变化规律,推导了微小旋转角度的表达式,对叠栅条纹的节距与阵列夹角之间的关系进行了理论分析与实验测量。研究结果表明,当微图形阵列的窗口边长小于微透镜阵列的透镜元宽度时,叠栅条纹的节距变化较平缓,且对微图形与微透镜阵列间的夹角θ的变化较敏感,这有利于提高测量结果的准确性;当微图形阵列的窗口边长为0.3mm,微透镜阵列的透镜元宽度为0.4mm时,节距与夹角θ间关系的实验结果与理论结果总体一致。
- 郑三超周素梅黄高坤杨晓铭
- 关键词：光栅叠栅条纹节距
- 基于方形孔径微透镜阵列二维叠栅条纹的微小角度测量理论和实验研究
- 随着科学技术不断的发展，平面微透镜阵列的制作技术日益成熟，特别是光刻离子交换技术。这种方形孔径微透镜阵列的制作是将透镜单元嵌刻在玻璃基片的内部，避免外部环境带来的影响，玻璃基片内部排列的透镜元整齐如一，并且玻璃基片的表面...
- 郑三超
- 二维叠栅条纹的傅里叶变换被引量：3
- 2017年
- 研究了方形孔径平面微透镜阵列和微图形阵列的叠栅条纹的傅里叶原理。方形孔径平面微透镜阵列可视为正交的二维栅格线簇,以一维光栅叠栅条纹的傅里叶变换原理为基础,推导了方形孔径平面微透镜阵列二维叠栅条纹的傅里叶变换解析式,对低频(1,-1)级叠栅条纹进行详细讨论。同时对不同夹角下叠栅条纹的周期和同步性进行重点研究,并采用不同结构参数的二维栅格模板与微图形阵列进行实验,结果表明:实验值和理论值相吻合,研究结果为方形孔径平面微透镜阵列的应用与研究提供了理论基础。
- 杨晓铭郑三超黄高坤周素梅
- 关键词：光学器件叠栅条纹
- 基于自相干叠栅条纹的光刻机对准技术被引量：11
- 2017年
- 随着光刻技术向10nm及以下工艺节点的延伸,光刻工艺对套刻精度提出了更高的要求,相应的对准精度的要求已经达到亚纳米量级。提出一种基于自相干叠栅条纹的光刻机对准方法,其原理是利用对准系统的光学结构将位相型光栅对准标记的同级次衍射光束进行分束和转像,在对准系统像面上形成两组周期不同的干涉条纹,这两组干涉条纹进一步干涉叠加形成自相干叠栅条纹,组成自相干叠栅条纹的两组干涉条纹随对准标记的移动向相反方向移动,并将对准标记的位移量进行放大,从而提高对准标记位置测量的精度。通过对自相干叠栅条纹图像进行傅里叶变换和相位提取,分析其相位信息得到对准标记的位置。仿真结果表明,对准精度和对准重复精度分别可以达到0.07nm和0.11nm。
- 杜聚有戴凤钊戴凤钊王向朝
- 关键词：光刻套刻叠栅条纹
- 基于叠栅条纹光电信号的全微分测速方法被引量：3
- 2015年
- 为了提高光电编码器速度检测精度,设计了一种基于叠栅条纹光电信号的编码器测速方法。结合全微分方程,建立叠栅条纹光电信号测速模型。分析了影响编码器测速精度的主要因素,并对比不同误差对测速精度的影响。结合测速模型设计改进算法,并完成系统实现。实验结果表明:对某21位光电编码器进行测速实验,将测速误差均方根由0.0367 rad/s降低到0.0216 rad/s。此方法测量速度快,测速精度高,适合实时性要求较高的控制场合。
- 王亚洲万秋华王树洁杨守旺杜颖财
- 关键词：光电轴角编码器
- 一种叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法
- 本发明提供一种叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法，所述的方法在照明系统经扩束后由光纤引入光路，经过聚光镜均匀照明标记光栅，标记光栅经第一远心成像系统，再由棱镜成像在硅片表面，被反射后经过棱镜，第二远心成像系统；通过分光棱镜将...
- 冯金花胡松何渝李艳丽
相关作者
- 胡松
- 作品数：472被引量：450H指数：9
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
- 李艳丽
- 作品数：43被引量：14H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：工件台 投影光刻机 投影光刻 叠栅条纹 调焦
- 何渝
- 作品数：72被引量：39H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
- 唐燕
- 作品数：109被引量：44H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
- 朱江平
- 作品数：30被引量：28H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：莫尔条纹 叠栅条纹 数字微镜 工件台 无掩模光刻
