何渝
作品数： 72被引量：39H指数：4
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

胡松
作品数：472被引量：450H指数：9
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
赵立新
作品数：229被引量：74H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
唐燕
作品数：109被引量：44H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
朱江平
作品数：30被引量：28H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：莫尔条纹 叠栅条纹 数字微镜 工件台 无掩模光刻
刘俊伯
作品数：101被引量：24H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 数值孔径 光刻 投影光刻机 掩模
作品列表