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徐维江

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇会议论文

主题

  • 3篇刻蚀
  • 2篇等离子刻蚀
  • 2篇电路
  • 2篇电容
  • 2篇镀银
  • 2篇匹配器
  • 2篇匹配性
  • 2篇离子刻蚀
  • 1篇单晶
  • 1篇等离子体
  • 1篇电流
  • 1篇淀积
  • 1篇射频线圈
  • 1篇体腔
  • 1篇匹配电路
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束加工
  • 1篇阶层
  • 1篇绝缘
  • 1篇刻蚀机

机构

  • 4篇中国科学院微...

作者

  • 4篇徐维江
  • 2篇夏洋
  • 2篇杨进
  • 2篇李勇滔
  • 1篇叶甜春
  • 1篇李晓民
  • 1篇曹振亚
  • 1篇钱鹤
  • 1篇刘训春

传媒

  • 1篇第六届全国电...

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2013
  • 1篇1997
  • 1篇1991
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种用于匹配器设备的空气电容结构
本发明涉及等离子刻蚀、淀积设备技术领域，具体涉及一种用于匹配器设备的空气电容结构。所述空气电容结构，包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接。本发明通过在空气电...
杨进徐维江李勇滔夏洋
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一种高密度等离子体工艺装置
本实用新型公开了一种由低压气体腔的腔座、绝缘罩以及射频线圈等部分组成，用于半导体精细加工的高密度等离子体工艺装置。该装置采用多阶层的塔状绝缘罩体，并使连续连接的一组多匝射频线圈按上下顺序围绕在塔状罩体的各阶层外壁上，其顶...
刘训春叶甜春李晓民王守武钱鹤徐维江曹振亚张学
文献传递
FD-2型RIE超精细刻蚀机的研制
高士平徐维江岳惠武
关键词：单晶硅离子束加工集成电路
一种用于匹配器设备的空气电容结构
本发明涉及等离子刻蚀、淀积设备技术领域，具体涉及一种用于匹配器设备的空气电容结构。所述空气电容结构，包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接。本发明通过在空气电...
杨进徐维江李勇滔夏洋
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