殷明
- 作品数：1 被引量：6H指数：1
- 供职机构：中国矿业大学信息与电气工程学院更多>>
- 发文基金：淮南市科技计划项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于时空转换法的正弦波光栅尺位移测量系统设计被引量：6
- 2015年
- 光栅尺作为高精度位置测量仪器,其分辨率受制于超精密的空间刻划技术,测量精度急需通过电子学细分法来提高。为此,提出了"时空转换"的思想:借助于载波调制理论,引入了恒定的时空当量,将对空间位移的测量转换为对信号瞬时周期的测量。首先,进行了时空转换法的数学推导,探究了正弦波光栅尺位移的测定和移动方向的判别方法;然后,在DSP开发平台下,搭建出基于时空转换法的正弦波光栅尺位移测量系统;最后,从实验数据以及光栅信号的残余直流电平、幅值不均衡、相位不正交等方面进行了误差分析。实验表明:栅距为8mm的正弦波光栅尺,在时空转换法下,平均测量误差为±0.258 1μm,兼顾了细分与辨向。
- 范国鹏周莉殷明李振华蒋涛周文庆
- 关键词：载波调制光栅信号误差分析
