马飞
- 作品数：8 被引量：8H指数：2
- 供职机构：北京理工大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- 基于Levenberg-Marquardt算法的大型非球面镜轮廓数据处理方法被引量：2
- 2016年
- 大型非球面镜通过加工-检测-再加工-再检测的制造工艺以满足面形精度要求,根据检测后的轮廓数据准确评定面形是提高再加工精度的关键。为解决抛光前镜面的面形评定问题,采用基于信赖域法则的Levenberg-Marquardt算法对参数进行拟合、误差补偿以及面形评定。利用Code V仿真分析算法性能,构建大型非球面轮廓仪测试抛物面加工件,对实测数据经过32次迭代得到元件参数及轮廓残差曲线,收敛精度为1.16×10-21。实验表明:该算法可对大型非球面镜轮廓数据进行高效准确的拟合、评定,为进一步提高再加工精度提供可靠依据。
- 金秋宇马飞刘恩涛王允赵维谦
- 关键词：LEVENBERG-MARQUARDT误差补偿
- 大承载气浮回转工作台的调心技术被引量：1
- 2017年
- 为了实现大口径光学元件表面轮廓的高精度测量,提出了一种大承载气浮回转工作台的调心技术,并研制了一套具有偏心自动调整功能的测控系统。该系统主要由精密气浮回转轴、台达PLC、数显千分表和轮廓仪工作台组成。利用VC++的PLC串口通讯和偏心调整软件的控制,实现了轮廓仪的自动调心功能。
- 高冠刘恩涛张恒利马飞王允
- 关键词：应用光学大口径光学元件气浮偏心调整
- 大口径非球面轮廓加工检测一体化方法
- 本发明属于光学精密测试、精密加工技术领域，涉及一种大口径精密非球面加工检测装置与方法，可用于精密光学系统中大型高精度非球面元件面形的检测与加工。本发明基于直线/回转基准技术等，通过将加工设备的功能与检测设备的功能相融合，...
- 赵维谦邱丽荣马飞
- 文献传递
- 基于双频激光干涉反馈的快速精密定位系统被引量：5
- 2015年
- 为了实现大量程、高精度测量系统的快速驱动与定位,结合双频激光干涉仪、可回收废气的空气静压导轨、精密滚珠丝杆以及伺服控制系统,研制了一套定位精度高、重复性好的快速精密定位系统。该系统以双频激光干涉仪为测长基准,实时反馈系统工作台位置信息;采用余气回收式空气静压导轨克服了传统气浮导轨余气对激光干涉测量光路系统的影响;在定位过程中引入PID运动控制技术,通过调节伺服控制器的PI参数使系统拥有快速平稳的响应特性。经实验测试,在500mm行程范围内,该系统的轴线双向定位精度可以达到0.266μm,重复定位精度可以达到0.173μm,具有较好地快速响应特性。应用所研制的精密定位系统对一维直线光栅样品进行了扫描,并与用Olympus共焦显微镜测得的数据进行了比对,表明系统具备良好的轴向定位能力。
- 季林侯茂盛邱丽荣马飞赵维谦
- 关键词：光学测量双频激光干涉空气静压导轨PID控制
- 大口径非球面轮廓加工检测一体化装置与方法
- 本发明属于光学精密测试、精密加工技术领域，涉及一种大口径精密非球面加工检测装置与方法，可用于精密光学系统中大型高精度非球面元件面形的检测与加工。本发明基于直线/回转基准技术等，通过将加工设备的功能与检测设备的功能相融合，...
- 赵维谦邱丽荣马飞
- 文献传递
- 一种大口径非球面元件轮廓检测装置及方法
- 本发明属于光学精密测试技术领域，涉及一种大口径非球面精密检测装置与方法，可用于精密光学系统中大型非球面元件轮廓的高精度检测。本发明基于直线/回转基准技术等，采用回转—直线基准共基面的开放式轮廓仪结构，实现了基于精密气浮回...
- 邱丽荣赵维谦马飞
- 基于气体润滑支承技术的大承载精密一维调整技术研究
- 2014年
- 为实现光学和机械测量中对大型被测件位姿的一维高精度测量和调整，发明研制了基于空气静压轴承技术的高精度大承载一维调整装置，并对该一维调整系统的调倾性能进行测定和研究。阐述了基于空气静压轴承技术的调倾工作台的构成及工作原理。利用三维空间坐标变换得到调倾操作的数学模型，并由此得出了驱动器位移与倾斜角度间的关系。采用光电自准直仪构建测量系统，得出基于空气静压轴承技术的大范围高精度工作台倾斜调整的分辨力。分析了测量系统的误差，给出调倾装置的性能评价。实验结果表明：在50kg负载下，调倾操作的分辨力为1．2″，倾斜调整范围± 1°。发明研制的系统满足光学和机械测量中对调整工作台的高精度、高分辨力、大调整范围、无摩擦、易驱动和高承载刚度等要求。
- 侯茂盛季林刘恩涛田艳荣马飞赵维谦
- 关键词：工作台
- 一种大口径非球面元件轮廓高精度检测方法及装置
- 本发明属于光学精密测试技术领域，涉及一种大口径非球面精密检测装置与方法，可用于精密光学系统中大型非球面元件轮廓的高精度检测。本发明基于直线/回转基准技术等，采用回转—直线基准共基面的开放式轮廓仪结构，实现了基于精密气浮回...
- 邱丽荣赵维谦马飞
- 文献传递
