胡杰
- 作品数:3 被引量:4H指数:1
- 供职机构:中国科学技术大学更多>>
- 相关领域:电子电信医药卫生更多>>
- 基于MEMS微镜角度反馈的新型封装应力隔离结构被引量:4
- 2022年
- 在微机电系统微镜转轴处集成角度传感器,可用来检测镜面偏转角度实现闭环控制,但封装和实际工况的扰动会给微镜结构引入额外应力,造成压阻角度传感器的灵敏度漂移。为提高微镜在应用场景中偏转角的控制精度,减小封装热应力给集成压阻角度传感器带来的误差信号,提出了一种应力隔离结构。当环境温度变化时,微镜的封装会引入额外的应力,通过理论计算得到这种应力会引起芯片的轴向形变。为探究轴向形变对压阻角度传感器输出特性的影响,建立了压阻传感器的受力分析模型,计算结果表明,轴向应力会改变压阻角度传感器的输出幅值,是导致误差信号的主要因素。利用微纳加工技术制备集成压阻角度传感器的微镜,实验结果表明:传统结构芯片在12μm的轴向拉伸和轴向压缩下,压阻角度传感器的灵敏度从19.22 mV/°增加到20.16 mV/°,变化幅度为0.94 mV/°,其灵敏度随着形变量呈现明显的发散趋势;而有应力隔离结构的芯片在相同形变条件下,传感器的灵敏度则从19.37 mV/°增加到19.67 mV/°,变化幅度收敛至0.3 mV/°,有效地提高了角度传感器在不同形变条件下的稳定性。在机械可靠性方面,两种结构均通过了抗冲击和抗振动测试。
- 钱磊胡杰单亚蒙王俊铎周鹏周鹏
- 关键词:微机电系统压阻传感器
- 尿液外泌体miRNA标志物在制备急性移植物抗宿主病诊断试剂盒中的应用
- 本发明公开尿液外泌体miRNA标志物在制备急性移植物抗宿主病诊断试剂盒中的应用,所述尿液外泌体miRNA标志物是hsa‑miR‑411‑5p,hsa‑miR‑143‑3p和hsa‑miR‑211‑5p中至少两种。本发明成...
- 胡杰沈佐君
- 一种基于RAG的电气协议书信息提取的方法
- 本发明公开一种基于RAG的电气协议书信息提取方法,包括:根据已知的电气文本及收集的电气概念生成训练数据集,并基于所述训练数据集对文本嵌入模型进行调整;在提取电气协议书中的信息时,基于调整后的所述文本嵌入模型,以及预定的规...
- 李向阳侯嘉慧胡杰