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孙伯森

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇电路
  • 2篇集成电路
  • 2篇SEM
  • 1篇电路工艺
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇扫描电镜
  • 1篇退火
  • 1篇抗辐射
  • 1篇快速退火
  • 1篇集成电路工艺
  • 1篇加固工艺
  • 1篇SOI

机构

  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 2篇王嵩宇
  • 2篇单成国
  • 2篇孙伯森

传媒

  • 1篇电子显微学报
  • 1篇2005年全...

年份

  • 2篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
集成电路工艺问题的SEM诊断
王嵩宇单成国孙伯森
关键词：集成电路工艺SEM多晶硅SOI快速退火
文献传递
集成电路工艺问题的SEM诊断
2005年
王嵩宇单成国孙伯森
关键词：集成电路加固工艺抗辐射
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共1页<1>
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