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邓秋芳
作品数:
4
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
许俊杰
中国科学院半导体研究所
梁松
中国科学院半导体研究所
朱洪亮
中国科学院半导体研究所
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许俊杰
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邓秋芳
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2019
1篇
2018
1篇
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1篇
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共腔双波长分布反馈激光器的制作方法
一种共腔双波长分布反馈激光器的制备方法,该方法包括如下步骤:步骤1:在掺杂磷化铟衬底上制作下层光栅;步骤2:在下层光栅上外延生长下光栅覆盖层和有源区层;步骤3:在有源区层上制作上层光栅;步骤4:在上层光栅上外延生长掺杂磷...
邓秋芳
朱洪亮
许俊杰
梁松
文献传递
叠层选区生长制作多波长光子集成发射芯片的方法
一种叠层选区生长制作多波长光子集成发射芯片的方法,包括:在衬底上制作选区介质掩膜条对;并依次生长InP缓冲层、下分别限制层、下层多量子阱层、刻蚀终止层、上层多量子阱层以及上分别限制层;去掉部分上分别限制层和上层多量子阱层...
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许俊杰
朱洪亮
共腔双波长分布反馈激光器的制作方法
一种共腔双波长分布反馈激光器的制备方法,该方法包括如下步骤:步骤1:在掺杂磷化铟衬底上制作下层光栅;步骤2:在下层光栅上外延生长下光栅覆盖层和有源区层;步骤3:在有源区层上制作上层光栅;步骤4:在上层光栅上外延生长掺杂磷...
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叠层选区生长制作多波长光子集成发射芯片的方法
一种叠层选区生长制作多波长光子集成发射芯片的方法,包括:在衬底上制作选区介质掩膜条对;并依次生长InP缓冲层、下分别限制层、下层多量子阱层、刻蚀终止层、上层多量子阱层以及上分别限制层;去掉部分上分别限制层和上层多量子阱层...
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