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张智宏
作品数:
4
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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合作作者
孙安纳
中国科学院半导体研究所
崔莉
中国科学院半导体研究所
张允强
中国科学院半导体研究所
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机构
4篇
中国科学院
作者
4篇
张智宏
2篇
崔莉
2篇
孙安纳
1篇
张允强
年份
1篇
1991
1篇
1990
1篇
1989
1篇
1987
共
4
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一种离子或生物检测探头的基座
本实用新型公开了一种配接具有补偿电路的高稳定离子或生物检测装置的探头基座,它由印刷电路板刻蚀加工而成,可使两个场效应器件和一个金质参比电极集成在一个探头上,兼有结构简单、使用方便以及成本低廉等优点。
汪正孝
张智宏
张允强
文献传递
一种微区敷膜技术与装置
本发明公开了一种用于制造微电子产品的微区敷膜技术与装置,它用微处理机控制涂敷笔在基片指定的部位按设计的图形和尺寸描绘敷料形成涂敷膜层,这种敷膜技术与装置具有操作简便、成本低廉、膜层均匀等优点,此外还能满足涂敷多品种膜层的...
孙安纳
崔莉
张智宏
文献传递
半导体界面物理与器件物理
张智宏
一种微区敷膜方法与装置
本发明公开了一种用于制造微电子产品的微区敷膜技术与装置,它用微处理机控制涂敷笔在基片指定的部位按设计的图形和尺寸描绘敷料形成涂敷膜层,这种敷膜技术与装置具有操作简便、成本低廉、膜层均匀等优点,此外还能满足涂敷多品种膜层的...
孙安纳
崔莉
张智宏
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