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张露
作品数:
34
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
中国科学院战略性先导科技专项
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相关领域:
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合作作者
王镇
中国科学院上海微系统与信息技术...
尤立星
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈垒
中国科学院上海微系统与信息技术...
张伟君
中国科学院上海微系统与信息技术...
李浩
中国科学院上海微系统与信息技术...
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1篇
2011
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NbN薄膜厚度对超导纳米线单光子探测器性能的影响
超导纳米线单光子探测器件(SNSPD)是用在超导单光子探测系统中的核心器件.我们成功制各了基于NbN超导超薄薄膜的SNSPD器件.器件核心结构为70 nm宽的纳米曲折线结构,有效面积为15 μm× 15 μm....
杨晓燕
张伟君
张露
刘晓宇
尤立星
一种超导电路结构及其制备方法
本发明提供一种超导电路结构及其制备方法,包括:1)提供衬底,在衬底表面对应于后续要形成约瑟夫森结的位置形成应力图案结构,应力图案结构的尺寸大于约瑟夫森结的尺寸;2)在衬底表面依次形成第一超导材料层、第一绝缘材料层及第二超...
应利良
熊伟
张露
孔祥燕
任洁
王镇
文献传递
MgO单晶上NbN薄膜的制备与性能研究
张露
尤立星
彭炜
高消光比超导纳米线单光子探测器
偏振是光学研究的一个重要参数.大多数光探测器都是强度探测器,对偏振信息不敏感.超导纳米线单光子探测器(Superconducting nanowire single-photon detector,SNSPD)由于其类似...
郭琦
李浩
尤立星
张伟君
张露
王镇
关键词:
NBN
消光比
一种基于VN的SNS约瑟夫森结及其制备方法
本发明提供一种基于VN的SNS约瑟夫森结及其制备方法,该基于VN的SNS约瑟夫森结的制备方法包括以下步骤,提供一衬底,采用直流反应磁控溅射于衬底上形成包括NbN底层膜、VN势垒层及NbN顶层膜的功能材料层,刻蚀功能材料层...
张露
陈垒
王镇
堆栈结构SNS约瑟夫森结、电压基准及制备方法
本发明提供一种堆栈结构SNS约瑟夫森结的制备方法,堆栈结构SNS约瑟夫森结的制备包括提供衬底,制备NbN底层膜、超导金属复合叠层结构层以及NbN顶层膜,定义底电极和结区,制备隔离层和配线层。本发明通过引入堆栈结构SNS约...
张露
闫恺心
曾俊文
陈垒
王镇
基于TaN的约瑟夫森结及其制备方法
本发明提供一种基于TaN的约瑟夫森结及其制备方法,制备方法包括:提供衬底,形成NbN底层膜、金属TaN势垒层以及NbN顶层膜,刻蚀定义底电极和结区,形成隔离层和配线层。本发明通过离子氮化工艺形成金属TaN势垒层,得到SN...
张露
闫恺心
陈垒
王镇
超导纳米线单光子探测器光致闩锁研究
陈思井
李浩
张伟君
杨晓燕
张露
尤立星
王镇
实用化高性能超导纳米线单光子探测技术
尤立星
王镇
张伟君
谢晓明
李浩
杨晓燕
张露
刘晓宇
周慧
王永良
彭炜
该项目隶属光量子探测、超导电子技术和微纳器件的交叉领域,在量子信息技术高速发展的背景下启动。建立高探测效率低暗计数超导纳米线单光子探测器(SNSPD)设计方法和制备技术体系,自主掌握了NbN SNSPD制备、系统集成等核...
关键词:
关键词:
设计方法
超导纳米线单光子探测器时间抖动起源研究
超导纳米线单光子探测器(SNSPD)作为一种新兴的单光子探测器,具有时间抖动极低的特性,在量子通信、飞行时间测距和荧光光谱分析等时间相关应用中展现出广阔的前景.使用示波器的抖动分析功能,通过不同放大器改进测量电路,优化示...
巫君杰
张伟君
张露
刘晓宇
尤立星
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