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彭军

作品数：32 被引量：84H指数：5
供职机构：西安电子科技大学微电子学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金国家部委预研基金更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术交通运输工程更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 21篇期刊文章
  • 7篇专利
  • 4篇会议论文

领域

  • 17篇电子电信
  • 4篇理学
  • 3篇一般工业技术
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 10篇气敏
  • 9篇碳化硅
  • 8篇氧化物
  • 8篇复合氧化物
  • 7篇淀积
  • 7篇氧化铁
  • 6篇氧敏材料
  • 5篇氧敏特性
  • 5篇气敏特性
  • 5篇硅薄膜
  • 5篇半导体
  • 4篇碳化硅薄膜
  • 4篇羰基
  • 4篇羰基铁
  • 4篇金属
  • 4篇感器
  • 4篇Α-FE
  • 4篇衬底
  • 4篇传感
  • 4篇传感器

机构

  • 32篇西安电子科技...
  • 1篇南京大学
  • 1篇上海交通大学
  • 1篇西北大学
  • 1篇中国人民解放...
  • 1篇日本九州大学
  • 1篇西安通信学院

作者

  • 32篇彭军
  • 9篇柴常春
  • 7篇张永华
  • 7篇刘笃仁
  • 6篇郝跃
  • 5篇严北平
  • 5篇朱作云
  • 5篇王剑屏
  • 2篇宋国乡
  • 2篇郭振琪
  • 1篇孙铁囤
  • 1篇杨银堂
  • 1篇丁桂甫
  • 1篇郑有炓
  • 1篇江口浩一
  • 1篇蔡炳初
  • 1篇张永华
  • 1篇张鹤鸣
  • 1篇贾护军
  • 1篇黄云霞

传媒

  • 4篇西安电子科技...
  • 3篇传感器技术
  • 2篇功能材料
  • 2篇材料研究学报
  • 1篇半导体情报
  • 1篇半导体技术
  • 1篇物理学报
  • 1篇郑州轻工业学...
  • 1篇无机材料学报
  • 1篇光子学报
  • 1篇云南大学学报...
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇微电子学
  • 1篇电子科学学刊
  • 1篇第二届全国敏...
  • 1篇1986年中...
  • 1篇第三届全国气...

年份

  • 1篇2003
  • 6篇2002
  • 2篇2001
  • 3篇2000
  • 1篇1998
  • 5篇1997
  • 2篇1996
  • 3篇1995
  • 4篇1994
  • 3篇1992
  • 1篇1991
  • 1篇1986
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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制备氧化铁酒敏薄膜的方法
本发明涉及敏感技术领域，特别是一种制备酒敏薄膜的方法。该方法是用等离子增强型化学气相淀积法制备氧化铁酒敏薄膜，其关键是参加化学气相淀积反应的源物质采用了金属有机化合物五羰基铁[Fe(CO)<Sub>5</Sub>]。用此...
彭军严北平柴常春
文献传递
非晶硅薄膜对器件噪声特性的改善
朱兆宗张鹤鸣彭军
关键词：集成电路工艺半导体器件自钝化噪声控制
复合氧化物半导体氧敏材料的研究
有氧敏性的ＴｉＯ&lt;,2&gt;与Ｎｂ&lt;,2&gt;Ｏ&lt;,5&gt;复合化，得到的复合材料分别比这２种单纯的材料的氧敏特性有所改善和提高，对复合材料的结构进行了初步的分析。
彭军刘笃仁
关键词：气敏器件氧发动机
制备氧化钛-氧化铌复合氧化物氧敏材料的方法
本发明涉及一种氧敏复合材料的制备方法。主要解决目前制备单一氧化物半导体氧敏材料需要贵金属催化剂，且氧敏特性差的问题，提出了采用氧化钛-氧化铌两种氧化物为源物质，制备复合氧敏材料的方法，其操作步骤为：(1)将两种不同比例的...
彭军
文献传递
Ti-Nb系复合氧化物氧敏响应特性的研究
1997年
将ＴｉＯ２与Ｎｂ２Ｏ５氧化物氧敏材料复合化，研究氧敏响应特性及其与环境温度、气流转换频率的关系，并指出采样方法对响应时间的影响，在无贵金属催化条件下，烧结型复合氧敏材料的响应时间约为６０ｍｓ．
彭军刘笃仁
关键词：复合氧化物氧化钛气敏特性氧化铌
TiO_2-Nb_2O_5复合氧化物氧敏响应特性及结构研究被引量：2
1997年
将ＴｉＯ２和Ｎｂ２Ｏ５氧化物氧敏材料复合，研究氧敏响应特性及其与环境温度、气流转换频率的关系，并指出采样方法对响应时间的影响。在无贵金属催化条件下，烧结型复合氧敏材料的响应时间约为６０ｍｓ。对材料的结构与响应机理进行了分析与初步探讨。
彭军刘笃仁
关键词：复合氧化物气敏传感器
掺锡对α-Fe_2O_3薄膜微结构和气敏特性的影响研究被引量：1
1997年
本文用常压化学气相淀积法（ＡＰＣＶＤ）制备了α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜，对所制备的薄膜进行了Ｘ射线衍射分析和表面形貌（ＳＥＭ）分析。对薄膜的气敏特性进行了测量。结果表明，用ＡＰＣＶＤ工艺制备的α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜对烟雾极为敏感并且具有良好的选择性；本研究还对所制备的α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜进行了有效的掺杂，对掺杂样品的气敏特性测试表明四价金属元素Ｓｎ的掺入对α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜的气敏特性有显著的影响。实验表明用ＡＰＣＶＤ法制备掺Ｓｎ４＋的α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜不仅大幅度提高了材料对烟雾的灵敏度，同时也使得选择性得到明显改善。
柴常春彭军严北平镇桂芹
关键词：APCVD氧化铁气敏特性
LIGA相关技术及应用被引量：31
2003年
微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展。介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用。
张永华丁桂甫彭军蔡炳初
关键词：LIGA技术
Ti-Nb系复合氧化物的氧敏响应特性被引量：1
1997年
介绍动态响应测试系统和Ti-Nb系复合氧化物氧敏材料响应时间与环境温度、气流转换频率的关系、指出采样方法时响应时间的影响。在无贵金属催化时，烧结型复合氧敏材料的响应时间可达60ms。
彭军刘笃仁
关键词：复合氧化物贫燃
蓝宝石复合衬底上生长的碳化硅薄膜的结构分析
在蓝宝石衬底上预淀积一层缓冲层,在其上用APCVD法外延生长SiC薄膜。对生长的薄膜进行了四晶衍射分析和PL谱分析,结果表明以蓝宝石C面上AIN为复合衬底生长的薄膜为6H-SiC,其带隙约为3.0eV。
张永华彭军
关键词：碳化硅复合衬底X射线衍射光致发光
文献传递
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