卢文娟
- 作品数：22 被引量：49H指数：4
- 供职机构：山东大学更多>>
- 发文基金：山东省自然科学基金国家自然科学基金山东省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术经济管理更多>>
- 扫描隧道显微镜精密工作台的神经网络控制
- 2006年
- 针对目前扫描隧道显微镜超高精度位移的要求,提出了一种基于神经网络的精密工作台控制方案。在分析微位移机构工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络辨识器在线辨识工作台的机械参数,神经网络自学习PID控制器代替传统PID控制器,实现了样本的在线采集,有效克服了神经网络控制器需要离线训练的缺点。利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变控制器的控制系数,增强了系统的实时控制性能。实验结果表明,相对于传统PID控制算法,参考位移量为10μm时,达到稳态值的时间从3.8 s缩短到1.8 s,稳态误差从4.2%减小到1.9%。
- 魏强张玉林于欣蕾郝慧娟卢文娟
- 关键词：扫描隧道显微镜工作台压电陶瓷神经网络
- 新劳动法背景下企业雇佣政策选择研究——以胶东半岛制造业为例
- 近些年来劳动合同签约率低,劳动合同短期化行为等问题比较突出,而且在我国劳动力市场供大于求的情况下,强资弱劳的状况更加严重,收入分配差距也在拉大,资本肆意侵犯劳动者权益状况更加恶化,所以新劳动法应运而生,旨在构建和谐劳动关...
- 卢文娟
- 关键词：新劳动法内部劳动力市场制造业
- 从UNEP到WEO？——论全球环境制度的变迁
- 环境问题从1970年代以后正式进入全球政治议程，此后，在国际社会的共同努力下全球环境治理取得了一系列的长足进展，这包括联合国环境机构UNEP、GEF，UNCSD的先后建立，以及其它相关机构对全球环境治理的全面参与，当然还...
- 卢文娟
- 关键词：环境治理环境规划
- 新劳动法背景下企业雇佣政策选择研究
- 近些年来劳动合同签约率低,劳动合同短期化行为等问题比较突出,而且在我国劳动力市场供大于求的情况下,强资弱劳的状况更加严重,收入分配差距也在拉大,资本肆意侵犯劳动者权益状况更加恶化,所以新劳动法应运而生,旨在构建和谐劳动关...
- 卢文娟
- 关键词：新劳动法内部劳动力市场实证研究
- 电子束光刻制造软刻蚀用母板的研究被引量：2
- 2007年
- 使用通用电子束曝光机,采用一种新的电子束微三维加工的重复增量扫描方式进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的微三维结构,以此为制作弹性印章的母模板,经硅烷化后可用来制作弹性印章,得到弹性印章后便可再利用软刻蚀相关技术进行微图形的复制。曝光实验的结论表明采用电子束重复增量扫描方式可用来制作微三维弹性印章的母版。
- 卢文娟张玉林孔祥东郝惠娟
- 关键词：电子束光刻母板
- 电子束重复增量扫描曝光方式的反应机理研究
- 2006年
- 从高分子辐射化学的角度分析了电子束曝光的实际反应机理,推导得出曝光辐射剂量与辐射降解程度间的关系,提出了重复增量扫描方式的电子束微三维加工方法。通过在SDS-3型电子束曝光机上对正性抗蚀剂PMMA进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的三维结构,验证了该方法的可行性。
- 卢文娟张玉林孔祥东郝惠娟
- 关键词：电子束光刻辐射降解
- 电子束重复增量扫描生成三维结构的研究被引量：2
- 2006年
- 针对三维曝光图形的结构特点,结合自行设计的图形发生器,提出了电子束重复增量扫描方式及曝光剂量与刻蚀深度关系和灵敏度的计算方法.根据计算得到的剂量关系,按照重复增量扫描方式,在SDS-3电子束曝光机上进行了曝光实验,显影后得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥的三维结构.因此,重复增量扫描方式可以用于三维结构的加工,并且关于曝光剂量与刻蚀深度关系和灵敏度的计算可以为其提供符合实际曝光的参数.
- 郝慧娟张玉林卢文娟魏强
- 关键词：DSP图形发生器电子束光刻灵敏度
- 扫描隧道显微镜微位移工作台的神经网络PID控制方法研究被引量：12
- 2006年
- 提出了一种基于神经网络理论的微位移工作台控制方案。该工作台以压电陶瓷作为微位移驱动元件,对伺服电机大位移进行位移补偿。分析了压电陶瓷微位移驱动器的原理,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变PID控制器的控制系数,减小工作台的位移误差。采用专用的压电陶瓷驱动电源对工作台的位移进行了实验,相对于常规PID控制器,微位移为11.41μm时的响应时间从1.5 s缩短到1 s,稳态位移误差从3.13%减小到1.05%,工作台的稳定性和定位精度得以提高,改善了扫描隧道显微镜的工作性能。
- 魏强张玉林于欣蕾郝慧娟卢文娟
- 关键词：扫描隧道显微镜精密工作台神经网络PID控制自适应控制
- 基于遗传算法的显影速率参数确定
- 2007年
- 为了更精确地确定显影速率参数,采用基于遗传算法的最小二乘法对显影速率进行拟合,并与Gauss-Newton迭代法进行了比较。结果显示,基于遗传算法的拟合效果更佳,具有较强的鲁棒性,可以用于显影速率参数的确定。该拟合可以为显影模拟、曝光条件的优化提供更精确的参数。
- 郝慧娟张玉林魏强卢文娟
- 关键词：最小二乘法遗传算法
- MEMS的细电子束液态曝光技术研究被引量：1
- 2005年
- 提出了可用于微机电系统加工的细电子束液态曝光技术。对该工艺的曝光方式、真空度需求、抗蚀剂选择以及能量和剂量需求等问题进行了理论分析和实验研究。研究结果表明,在高于1.33×10-2Pa的真空度下、采用曝光机内部曝光的方式,电子束曝光机所提供的电子束的能量和剂量可以满足环氧618等液体抗蚀剂固化需求的结论;并采用SDS II型曝光机在5×10-3Pa的系统真空度、25 kV加速电压、3μC/cm2曝光剂量的条件下,成功地固化了3μm厚的环氧618液体,固化的图形结构与设计的图形基本一致,固化精度约为0.1μm,侧壁的陡直度较好。证明了细电子束液态曝光技术是可行的。电子束液态曝光技术具有可加工高精度、高分辨率、任意高深宽比三维微结构以及控制灵活等优势,但由于使用束斑为几个纳米的电子束来固化抗蚀剂,因而其最大缺点就是生产效率低,故该技术最适用于制作三维微结构模板。
- 孔祥东张玉林卢文娟
- 关键词：MEMS抗蚀剂
