肖垣明
- 作品数：8 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第五十四研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防基础科研计划更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 一种掩模版及光波导反射面和光波导的制备方法
- 本发明公开了一种掩模版及光波导反射面和光波导的制备方法，涉及光传输结构及制造技术领域。其通过一种特殊设计的掩模版实现对光刻过程的透光量的控制，当紫外光穿过掩模版时，不同透光量位置处的光刻深度不同，从而形成一个坡面结构，同...
- 肖垣明赵飞党元兰陈雨刘晓兰梁广华徐亚新庄治学张莹卢立东
- 文献传递
- 光波导平整度优化工艺被引量：1
- 2018年
- 为推进光传输器件的实用化,提升聚合物光波导传输特性,梳理了聚合物光波导的工艺流程。分析了影响光波导传输特性的平整度问题,通过基板覆铜及研磨抛光、基板附着力增强、光波导旋涂控制和光波导曝光控制等关键技术的突破,解决了基板平整度、胶层附着力和光波导光刻控制等问题,获得了表面和侧壁粗糙度均低的聚合物光波导。通过测试,结果能满足使用要求,具有良好的应用前景。
- 赵飞庄治学陈雨肖垣明张莹
- 关键词：平整度附着力光刻
- 一种掩模版及光波导反射面和光波导的制备方法
- 本发明公开了一种掩模版及光波导反射面和光波导的制备方法，涉及光传输结构及制造技术领域。其通过一种特殊设计的掩模版实现对光刻过程的透光量的控制，当紫外光穿过掩模版时，不同透光量位置处的光刻深度不同，从而形成一个坡面结构，同...
- 肖垣明赵飞党元兰陈雨刘晓兰梁广华徐亚新庄治学张莹卢立东
- 文献传递
- 聚合物光波导45°反射面形成工艺研究被引量：1
- 2018年
- 为了降低传输中的损耗,基于聚合物光波导实现光互连以满足系统应用。基于聚合物光波导传输理论,设计了含45°角的传输结构,梳理了制备流程。针对聚合物光波导45°反射面制备难题,通过前处理、包层光刻、芯层匀胶和芯层曝光等技术,获得线宽精度高和传输损耗低的光波导结构。通过对该结果测试表明,传输特性满足使用要求,可作为通信的重要手段。
- 赵飞陈雨肖垣明卢立东
- 关键词：互连前处理光刻传输损耗
- 电子钣金件结构工艺性研究被引量：2
- 2005年
- 电子设备中许多结构零件是采用金属薄板制成的钣金件,其加工工艺性对电子产品的质量很重要,因此,在设计中要十分注意钣金件的结构工艺性,对此进行了详细的分析和讨论。
- 肖垣明
- 关键词：工艺性冲裁
- 一种通用铝型材插箱的优化设计
- 插箱是用于机柜上组合安装的机箱.本文简述了插箱设计的重要性,着重介绍了一种通用铝型材插箱在经多年的实际应用后再次进行的优化设计.
- 肖垣明
- 关键词：优化设计铝型材
- 文献传递
- 一种适于批生产的钣金插箱的设计
- 本文介绍了一种标准化、系列化设计的并且适于批量生产的钣金插箱,重点介绍了框架的结构形式及其加工工艺性。
- 肖垣明
- 关键词：结构形式工艺性
- 文献传递
- 一种带有二阶温度补偿的带隙基准电压源被引量：7
- 2018年
- 设计了一种带有二阶温度补偿的高精度带隙基准电压源电路。相比传统带隙基准电路,所设计的电路不仅进行了一阶温度补偿,在高温阶段增加了与一阶温度补偿基准电压的温度系数呈负相关的曲率补偿电流,通过电阻将补偿电压叠加到经过一阶补偿的基准电压上,以二阶温度补偿的方式改善了基准电压在高温时的温度特性,降低温度系数,最终输出较低温漂的基准电压。基于0. 5μm BCD工艺进行电路设计,利用Cadence工具进行仿真验证,最终流片,芯片面积为0. 9 mm×0. 9 mm。测试结果表明,在-40~150℃内,基准电压的温度系数为3. 9×10-6/℃;低频时电源抑制比为-76. 8 dB。
- 肖垣明王慧刘晨杨需哲
- 关键词：带隙基准曲率补偿温度系数
