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李鹏

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇电极
  • 3篇压电
  • 3篇压电陶瓷
  • 3篇刻蚀
  • 3篇衬底
  • 2篇导电高分子
  • 2篇导电高分子材...
  • 2篇电化学
  • 2篇电化学制备
  • 2篇电器件
  • 2篇印件
  • 2篇有毒有害物质
  • 2篇有害物
  • 2篇有害物质
  • 2篇有机物
  • 2篇致密
  • 2篇致密性
  • 2篇石墨
  • 2篇石墨烯
  • 2篇水中有机物

机构

  • 12篇中国科学院
  • 3篇苏州锐发打印...

作者

  • 12篇李鹏
  • 4篇谢永林
  • 4篇周岩
  • 2篇杨辉
  • 2篇陆书龙
  • 2篇吴丽琼
  • 2篇耿秀梅
  • 2篇董建荣
  • 2篇李伟伟
  • 2篇季莲
  • 2篇何巍
  • 2篇丰雪
  • 2篇刘立伟
  • 2篇钱波
  • 2篇张小飞
  • 1篇黄寓洋
  • 1篇代盼
  • 1篇赵勇明
  • 1篇沈文江
  • 1篇李奎龙

年份

  • 1篇2022
  • 1篇2021
  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2012
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种MEMS剪切式压电喷墨打印头及其制备方法
本发明公开了一种MEMS剪切式压电喷墨打印头的制备方法，首先在硅衬底上刻蚀形成环形槽，然后在硅衬底的刻蚀面沉积结构层，并使该结构层将环形槽填充满；再分别在硅衬底和结构层上形成连通的喷头的墨水通道和喷孔，在压电陶瓷衬底上制...
李鹏谢永林张小飞李令英钱波周岩王文浩
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一种基于3D打印技术的陶瓷零件的制备方法
本发明公开了一种基于3D打印技术的陶瓷零件的制备方法，包括：利用3D打印技术打印出陶瓷打印件，然后对陶瓷打印件进行固化成型‑排胶处理‑渗透处理‑两次烧结处理，获得了致密性良好、力学性能优异的陶瓷零件。通过对陶瓷中间体进行...
黄哲观冯晓媛汤阳李鹏周岩谢永林
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一种InP衬底生长InGaAs电池层的结构及其方法
本发明涉及一种InP衬底生长InGaAs电池层的结构及其方法，包括以下步骤：一、采用金属有机化合物化学气相沉淀法，在InP衬底上生长一层InP缓冲层；二、采用金属有机化合物化学气相沉淀法，在所述步骤一的InP缓冲层表面从...
赵勇明陆书龙季莲何巍李奎龙李鹏董建荣杨辉
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一种MEMS剪切式压电喷墨打印头及其制备方法
本发明公开了一种MEMS剪切式压电喷墨打印头的制备方法，首先在硅衬底上刻蚀形成环形槽，然后在硅衬底的刻蚀面沉积结构层，并使该结构层将环形槽填充满；再分别在硅衬底和结构层上形成连通的喷头的墨水通道和喷孔，在压电陶瓷衬底上制...
李鹏谢永林张小飞李令英钱波周岩王文浩
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一种原位等离子体清洗和键合晶片的设备
本实用新型涉及一种晶片清洗、键合技术，尤其是指一种能高效率完成清洗和键合操作的原位等离子体清洗和键合晶片的设备。这种设备包括真空键合装置（110），还包括等离子体清洗装置，所述等离子体清洗装置与真空键合装置（110）连通...
代盼李鹏黄寓洋何巍季莲陆书龙董建荣杨辉
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一种提高剪切式形变量的压电喷头及其制备方法
本发明公开了一种提高剪切式形变量的压电喷头，包括具有压力腔、墨水通道和喷孔的衬底、压电陶瓷片、设于所述压电陶瓷片内表面的下极化电极层和设于所述压电陶瓷片外表面的多个驱动电极，所述下极化电极层与所述衬底凹设有压力腔的一面键...
李鹏谢永林李令英钱波张小飞周岩丰雪
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集成光电器件及其制作方法
本发明提供了一种集成光电器件的制作方法，其包括：在衬底上形成波导及位于波导一侧的导电金属层；形成覆盖衬底、波导以及导电金属层的绝缘层；在绝缘层中形成暴露出导电金属层的凹槽；在凹槽中形成与导电金属层接触的导电高分子材料层，...
钱波黄思敏丰雪王文浩李令英林光慧李鹏张小飞钟正根周岩谢永林
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电化学制备石墨烯的方法
本发明公开了一种电化学制备石墨烯的方法，该方法优选利用高纯石墨原料压制形成石墨电极，并使用硫酸水溶液或硫酸-乙酸等混酸溶液做电解液，经石墨电极的阳极氧化制备石墨插层物，通过高温或微波等方法获得膨胀石墨。之后将膨胀石墨压片...
刘立伟吴丽琼李伟伟耿秀梅李鹏
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一种微机电系统运动传感器的制备方法
本发明涉及微机电系统技术领域，尤其是指一种微机电系统运动传感器的制备方法，包括释放工艺，所述释放工艺的具体步骤包括：在形成有顶金属电极的硅片上进行光刻工序，用于获得与梳齿电极和质量块对应的光刻图形；再利用深硅刻蚀工序将所...
余晖俊沈文江李鹏
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集成光电器件及其制作方法
本发明提供了一种集成光电器件的制作方法，其包括：在衬底上形成波导及位于波导一侧的导电金属层；形成覆盖衬底、波导以及导电金属层的绝缘层；在绝缘层中形成暴露出导电金属层的凹槽；在凹槽中形成与导电金属层接触的导电高分子材料层，...
钱波黄思敏丰雪王文浩李令英林光慧李鹏张小飞钟正根周岩谢永林
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