何文杰
- 作品数：14 被引量：4H指数：1
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术文化科学交通运输工程更多>>
- 一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
- 本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置，所述方法，即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动，依次通过其内用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统，基片通过每个原子层沉积系统时：调整基片温度为相应原子层沉积反应最适...
- 陈蓉褚波何文杰高玉乐单斌文艳伟
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- 一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置
- 本发明公开了一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置。用于制作原子层沉积膜的喷头，包括进气管路、进气口和出气口；所述进气口内部为空腔；所述出气口内部形成空腔，分为上半部分和下半部分，其上半部分与下半部分之间设有漏斗形结...
- 陈蓉何文杰褚波高玉乐单斌文艳伟
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- 一种变温薄膜沉积系统
- 本发明公开了一种变温薄膜沉积系统，包括多个沉积装置和基片转移装置，所述多个沉积装置均匀布设在基片转移装置周围；所述多个沉积装置具有基片温度控制机构，用于分别维持基片承载台温度恒温；所述基片转移装置，包括三维移动装置，所述...
- 陈蓉王晓雷林骥龙何文杰马玉春但威单斌
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- 一种变温薄膜沉积系统
- 本发明公开了一种变温薄膜沉积系统，包括多个沉积装置和基片转移装置，所述多个沉积装置均匀布设在基片转移装置周围；所述多个沉积装置具有基片温度控制机构，用于分别维持基片承载台温度恒温；所述基片转移装置，包括三维移动装置，所述...
- 陈蓉王晓雷林骥龙何文杰马玉春但威单斌
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- 水下无人艇控制网络通信调度算法与软件设计
- 随着海上无人系统的迅猛发展,水下无人艇具有重大研究意义。基于水下无人艇复杂的控制网络与特殊的应用场景,针对如何保证通信调度的实时性与可靠性,并有条不紊地实现各项功能任务等问题,本文提出了一种基于双主从并发调度的通信调度算...
- 何文杰
- 关键词：控制网络应急决策实时性可靠性
- 一种原位椭圆偏振测量装置
- 一种原位椭圆偏振测量装置，包括密封盖（100）上设置供偏振光入射与反射的入射孔（106）和反射孔（107），并在外开口处设置密封的入射透光口（108）和反射透光口（109），从而可以保持薄膜反应腔密闭状态下，在整个原子层...
- 陈蓉何文杰曹坤周雪琪单斌文艳伟
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- 一种用于气相沉积薄膜的装置
- 本发明公开了一种用于气相沉积薄膜的装置，包括反应腔体上盖、反应腔体底座以及加热器；所述反应腔体底座用于承载基片，其与反应腔体上盖活动链接形成气相沉积反应腔，其背部与加热器接触导热；所述反应腔体底座为圆形且具有环形凹槽。本...
- 陈蓉林骥龙何文杰王晓雷马玉春但威单斌
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- 空间隔离原子层沉积系统的研究被引量：3
- 2015年
- 原子层沉积(ALD)技术制备的薄膜在纳米尺度精确可控,并且各处薄膜厚度具有良好的均匀性。空间隔离原子层沉积(SALD)相比于时间隔离ALD技术,此工艺更易实现大面积基底沉积和连续沉积。由于SALD技术巨大的应用前景,关于SALD技术的研究成为ALD技术研究的热点之一。本文介绍了实验室自主设计搭建的SALD系统平台,以Al2O3生长评估SALD系统,实现Al2O3薄膜线性生长。并对反应温度、基底与前驱体喷头间距这两个重要的工艺参数进行了研究。SALD沉积实验表明,减小基底表面温度波动可以提高薄膜的微观形貌质量。同时,前驱体进气喷头与基底之间的距离会强烈影响基底表面的前驱体压力和前驱体间隔离效果,进而影响薄膜生长。为平衡薄膜生长均匀性和系统密封性的要求,需要选择最优的间距值。
- 褚波何文杰高玉乐陈蓉
- 关键词：原子层沉积温度
- 一种原位椭圆偏振测量装置
- 一种原位椭圆偏振测量装置，包括密封盖（100）上设置供偏振光入射与反射的入射孔（106）和反射孔（107），并在外开口处设置密封的入射透光口（108）和反射透光口（109），从而可以保持薄膜反应腔密闭状态下，在整个原子层...
- 陈蓉何文杰曹坤周雪琪单斌文艳伟
- 文献传递
- 原子层沉积系统设计及其温度的模型预测控制研究
- 原子层沉积(ALD)是一种纳米薄膜制备工艺技术，通过自限制性的前驱体交替饱和反应来获得厚度可控、均匀一致的薄膜，其可作为电子器件中的隔水隔氧层、晶体管栅极电介质层和太阳能电池的表面钝化层等，故而ALD技术广泛应用于微电子...
- 何文杰
- 关键词：模型预测控制温度控制原子层沉积微观形貌
- 文献传递
