赵志娟
- 作品数：25 被引量：93H指数：3
- 供职机构：中国科学院化学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目质检公益性行业科研专项项目更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信环境科学与工程更多>>
- XPS分析固体粉末时的样品制备法研究被引量：11
- 2007年
- 用XPS分析固体粉末样品时通常将粉末直接撒在双面胶带上进行测试.这种方法粉末容易脱落,并导致仪器污染或损坏.本文介绍一种将粉末样品铺在胶带上压成薄层进行测试的制样方法.后一种方法不需模具,简单快捷,实验表明它不仅有利于保护仪器,而且有利于提高XPS分析的灵敏度和分辨率.
- 刘芬赵志娟邱丽美赵良仲
- 关键词：X射线光电子能谱
- 基于X射线光电子能谱的绝缘栅双极型晶体管失效分析被引量：1
- 2023年
- 绝缘栅双极晶体管(IGBT)作为功率变流器的核心器件,其稳定状态在一定程度上决定了整个功率变流器的可靠性.国内某公司生产的一款IGBT模块在使用中出现过电压应力失效而被击穿,将其拆封后发现模块内部存在黑色枝状物,采用X射线光电子能谱法(XPS)对其进行失效分析,发现黑色枝状物的组成为金属硫化物及硫酸盐.通过元素定性、定量与化学态分析为模块实际应用中的失效机制提供了科学指导.进一步结合XPS数据结果详细分析了可能的硫物种污染来源,并针对器件封装材料和使用环境提出了改进和预防措施.
- 章小余赵志娟刘芬徐鹏屈宝龙
- 关键词：X射线光电子能谱绝缘栅双极晶体管硫化
- 刻蚀方式对金标准物质逸出功测量的影响
- 2024年
- 为了避免设备未合适校准带来的测量误差,在紫外光电子能谱(UPS)测试前进行标准物质逸出功(WF)的校准,对获得准确可靠的WF参考值至关重要.高纯金片(Au)性能稳定且具有清晰的费米边,是用于WF以及费米能级校准较为便利的标准参考物质.但是由于表面吸附及污染的存在,需要对Au标准物质进行离子刻蚀处理.采用不同的刻蚀方式对WF测量的影响进行研究,结果表明,栅格扫描刻蚀和定点刻蚀的方式不仅影响UPS测试谱图的质量,且随着刻蚀结束后停留时间的增加,分析室内的残余杂质分子会逐步吸附在Au表面,引起其WF的降低.同时由于定点刻蚀后表面不均匀性较大,有效刻蚀区域WF的平均值与标准值的相对误差达到10.48%.为保证UPS测量结果的准确性,建议在刻蚀完成后尽快进行WF测量.虽然栅格扫描刻蚀所使用时间较长,但是对样品的清洁效果以及测试的质量总体要优于定点刻蚀.
- 徐鹏赵志娟刘忍肖郭延军章小余
- 关键词：紫外光电子能谱逸出功仪器校准离子刻蚀
- 一种XPS样品冷冻转移装置与方法
- 本发明涉及一种XPS样品冷冻转移装置与方法，XPS样品冷冻转移装置包括样品准备腔室和快速冷冻真空腔室，快速冷冻真空腔室的一端与样品准备腔室连接，另一端与XPS仪器制备腔室连接，快速冷冻真空腔室内设置有可控温的低温冷冻模块...
- 赵志娟袁震章小余屈宝龙
- 一种样品转移装置及转移方法
- 本发明涉及一种样品转移装置及转移方法。所述装置包括：样品台，所述样品台用于放置样品；密封罩，所述密封罩包括罩本体，所述罩本体罩设于所述样品台，所述罩本体设有通气孔；弹性密封抽吸组件，所述弹性密封抽吸组件弹性压盖所述密封罩...
- 袁震章小余赵志娟
- 文献传递
- 可充/抽气式XPS冷冻-准原位样品转移装置
- 本发明公开了一种可充/抽气式XPS冷冻‑准原位样品转移装置，包括样品台、样品罩和通气装置，所述样品台包括盘体，所述盘体上设有用于承载待测样品的样品槽，所述盘体为导热材料制成；所述样品罩上设有凹腔、与所述凹腔上方分别连通的...
- 赵志娟袁震章小余屈宝龙
- 文献传递
- 一种样品转移装置及转移方法
- 本发明涉及一种样品转移装置及转移方法。所述装置包括：样品台，所述样品台用于放置样品；密封罩，所述密封罩包括罩本体，所述罩本体罩设于所述样品台，所述罩本体设有通气孔；弹性密封抽吸组件，所述弹性密封抽吸组件弹性压盖所述密封罩...
- 袁震章小余赵志娟
- 文献传递
- 硅晶片上超薄氧化硅层厚度纳米尺寸效应的XPS研究
- 用X 射线光电子能谱(XPS)测定了一系列厚度准确已知的硅晶片上的超薄(1.45 nm＜d＜7.2 nm)氧化硅膜的Si 2p 电子能谱和价带谱.结果表明：SiO2膜厚d＜2 nm 时,Si 2p结合能最低,其原因可归结...
- 赵志娟刘芬赵良仲
- 样品高度对XPS测试的影响被引量：3
- 2013年
- 采用Al靶微聚焦单色器光电子能谱仪进行XPS测试时,如果样品高度选择不好,会导致测得的光电子峰强度降低.而对于一些电子结合能较高的元素,其光电子峰会变宽,有时出现双峰.分析了该现象的原因是X射线光斑、电子中和枪中和区域以及光电子能量接收区域没有聚焦于同一点.
- 章小余赵志娟刘芬
- 关键词：X射线光电子能谱
- XPS进样装置
- 本发明涉及XPS检测领域，公开了一种XPS进样装置，所述XPS进样装置(1)包括：用于承载待测样品的样品台(12)；开设有供所述样品台进入的进口(100)、供所述样品台离开的出口(101)和与抽真空装置相连通的抽气口(1...
- 赵志娟袁震章小余
