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文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇等离子体增强
  • 2篇性能模拟
  • 2篇阳极
  • 2篇溅射
  • 2篇辅助阳极
  • 2篇参数优化
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇粘滞流
  • 1篇真空泵
  • 1篇真空管道
  • 1篇真空系统
  • 1篇数值模拟
  • 1篇涡旋
  • 1篇涡旋真空泵
  • 1篇误差分析
  • 1篇流导
  • 1篇计算方法
  • 1篇干式
  • 1篇差分

机构

  • 4篇东北大学

作者

  • 4篇张国庆
  • 3篇张以忱
  • 1篇黄英
  • 1篇李建军
  • 1篇常亮
  • 1篇黄化岩

传媒

  • 1篇真空
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 4篇2013
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
等离子体增强溅射技术中辅助阳极的性能模拟与参数优化
为探究辅助阳极对等离子体离化率的影响和对辅助阳极进行参数优化,按照实验参数正确建模后,利用COMSOL Multiphysics软件进行等离子体模拟和电磁场耦合模拟。分析模拟结果发现当辅助阳极位于溅射靶和基片之间时能显著...
张以忱张国庆赵金艳
关键词:磁控溅射辅助阳极数值模拟参数优化
真空管道流导计算中平均压力取值的误差分析与计算方法被引量:5
2013年
真空管道的流导,又叫做通导能力。它是管道的重要性能参数,是设计真空系统时必须考虑的因素之一。在计算粘滞流管道流导时,流导跟管道内的平均压力有关,通常的方法是近似把管道入口压力作为管道平均压力。但是当管道较长、真空泵抽速较低或管道入口压力较小时,上述近似方法的误差就变大了。本文对粘滞流下管道的平均压力的取值进行了讨论,分析了近似取管道高压端压力为平均压力时所产生的误差,并提供了粘滞流下管道的平均压力的计算方法等。
张以忱黄化岩张国庆李灿伦
关键词:真空系统流导粘滞流误差分析计算方法
双面非对称干式涡旋真空泵的设计计算被引量:1
2013年
涡旋真空泵是一种无油容积式机械干式真空泵,具有结构简单,真空度高,振动噪声低,可靠性高等优点。但涡旋真空泵也有一些缺点,如抽速较低,初始抽气时泵的工作状态不稳定,加工制造困难等。本文提出了一种双面非对称涡旋真空泵的设计思路,给出了泵主要结构及抽气性能参数的设计计算。此设计提高了泵的抽速,解决了泵初始抽气时状态不稳定等问题,减小了对涡旋齿的强度要求,增大了涡旋盘抽气的有效利用面积。
黄英李建军常亮张国庆
关键词:真空泵涡旋抽速
等离子体增强溅射技术中辅助阳极的性能模拟与参数优化
为探究辅助阳极对等离子体离化率的影响和对辅助阳极进行参数优化,按照实验参数正确建模后,利用COMSOL Multiphysics软件进行等离子体模拟和电磁场耦合模拟。分析模拟结果发现当辅助阳极位于溅射靶和基片之间时能显著...
张以忱张国庆赵金艳
关键词:磁控溅射辅助阳极MULTIPHYSICS参数优化
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