张国庆
- 作品数:4 被引量:6H指数:1
- 供职机构:东北大学机械工程与自动化学院更多>>
- 相关领域:一般工业技术机械工程理学更多>>
- 等离子体增强溅射技术中辅助阳极的性能模拟与参数优化
- 为探究辅助阳极对等离子体离化率的影响和对辅助阳极进行参数优化,按照实验参数正确建模后,利用COMSOL Multiphysics软件进行等离子体模拟和电磁场耦合模拟。分析模拟结果发现当辅助阳极位于溅射靶和基片之间时能显著...
- 张以忱张国庆赵金艳
- 关键词:磁控溅射辅助阳极数值模拟参数优化
- 真空管道流导计算中平均压力取值的误差分析与计算方法被引量:5
- 2013年
- 真空管道的流导,又叫做通导能力。它是管道的重要性能参数,是设计真空系统时必须考虑的因素之一。在计算粘滞流管道流导时,流导跟管道内的平均压力有关,通常的方法是近似把管道入口压力作为管道平均压力。但是当管道较长、真空泵抽速较低或管道入口压力较小时,上述近似方法的误差就变大了。本文对粘滞流下管道的平均压力的取值进行了讨论,分析了近似取管道高压端压力为平均压力时所产生的误差,并提供了粘滞流下管道的平均压力的计算方法等。
- 张以忱黄化岩张国庆李灿伦
- 关键词:真空系统流导粘滞流误差分析计算方法
- 双面非对称干式涡旋真空泵的设计计算被引量:1
- 2013年
- 涡旋真空泵是一种无油容积式机械干式真空泵,具有结构简单,真空度高,振动噪声低,可靠性高等优点。但涡旋真空泵也有一些缺点,如抽速较低,初始抽气时泵的工作状态不稳定,加工制造困难等。本文提出了一种双面非对称涡旋真空泵的设计思路,给出了泵主要结构及抽气性能参数的设计计算。此设计提高了泵的抽速,解决了泵初始抽气时状态不稳定等问题,减小了对涡旋齿的强度要求,增大了涡旋盘抽气的有效利用面积。
- 黄英李建军常亮张国庆
- 关键词:真空泵涡旋抽速
- 等离子体增强溅射技术中辅助阳极的性能模拟与参数优化
- 为探究辅助阳极对等离子体离化率的影响和对辅助阳极进行参数优化,按照实验参数正确建模后,利用COMSOL Multiphysics软件进行等离子体模拟和电磁场耦合模拟。分析模拟结果发现当辅助阳极位于溅射靶和基片之间时能显著...
- 张以忱张国庆赵金艳
- 关键词:磁控溅射辅助阳极MULTIPHYSICS参数优化