常学森
- 作品数：18 被引量：67H指数：5
- 供职机构：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信理学环境科学与工程更多>>
- 国外高真空直排大气干泵的发展现状
- 为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气...
- 刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
- 关键词：干式真空泵高真空
- 文献传递
- 圆弧包络线的性质及其计算机生成
- 转子是多种容积式真空泵尤其是干泵中最关键的核心部件。转子的设计、制造和装配成功与否,对真空泵的性能至关重要。而圆弧和圆弧包络线是在转子型线的设计中最常用的曲线之一。本文对圆弧包络线的产生进行了详尽的分析:通过啮合原理和坐...
- 刘坤巴德纯张振厚王光玉常学森杨乃恒
- 关键词：真空泵型线设计啮合原理动画编程
- 磁控反应溅射TiO_2薄膜的实验研究被引量：1
- 2006年
- 应用直流和中频交流程序自动控制磁控溅射设备,利用金属T i靶、纯F e靶制备出了有一定厚度的质量较好的不同氧流量的F e掺杂T iO2薄膜,T iO2薄膜被沉积在玻璃基底上。薄膜的制备用程序控制。通过在T iO2薄膜中形成一定的结构,并利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流量对T iO2薄膜的影响。实验表明程序自动控制不同氧流量F e掺杂T iO2薄膜的特性有了很大改变。
- 常学森巴德纯闻立时刘坤李飞张健
- 关键词：纳米二氧化钛薄膜氧流量亲水性磁控溅射
- 二氧化钛功能薄膜理论分析与研究进展
- 本文介绍了二氧化钛薄膜在催化和亲水方面的特性,对已有结论作了客观分析,提出了二氧化钛薄膜催化作用的另一个重要的前提条件是电子空穴的保持和有效的传输,并且到达催化分界面的新观点。提出了二氧化钛薄膜亲水作用的另一个重要的条件...
- 常学森巴德纯闻立时刘坤
- 关键词：光催化亲水性气敏特性湿敏特性
- 文献传递
- 国外高真空直排大气干泵研发的最新进展
- 为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化，人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年，国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气...
- 刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
- 关键词：干式真空泵高真空半导体设备
- 文献传递
- 国外高真空直排大气干泵的发展现状
- 为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气...
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- 关键词：干式真空泵高真空
- 文献传递
- TiO2薄膜表面能计算
- 应用反应磁控溅射技术,在玻璃基底(载玻片)上制备出纳米TiO2薄膜,X射线衍射 (XRD)分析表明薄膜为锐钛矿相,纳米TiO2薄膜经紫外光照射后具有优良的亲水性能。采用上海中晨电动自动调节型接触角仪,对紫外灯照射前后的薄...
- 常学森巴德纯闻立时刘坤
- 关键词：TIO2薄膜表面能接触角亲水性
- 文献传递
- 工业污染的防治与环境保护策略被引量：2
- 2003年
- 从废弃物与污染物的新定义,对工业污染防治进行了一系统规划,旨在使污染企业,尤其是冶金企业能以废弃物形成新的资源,变废弃物为新的产品,从而减少对环境危害。
- 王玉静边华张富春常学森张娜
- 关键词：工业污染环境保护废弃物污染物能源
- 磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究被引量：7
- 2007年
- 采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构。薄膜表面出现不规则起伏。薄膜的晶相主体均为锐钛矿型。TiO2薄膜的光透射谱变化不大。这种TiO2薄膜经紫外光辐照后,可以降低水和TiO2薄膜表面之间的接触角。不同工艺条件下制备的TiO2薄膜接触角相差很大。在纯氧条件下,薄膜制备的真空度对薄膜的亲水性有着决定性的影响。
- 巴德纯常学森闻立时刘坤
- 关键词：TIO2薄膜反应溅射真空度
- 高真空直排大气干泵的最新进展被引量：19
- 2008年
- 为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。
- 刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
- 关键词：干式真空泵高真空
