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刘光辉

作品数：2 被引量：105H指数：2
供职机构：中华人民共和国工业和信息化部更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇微电子
  • 2篇微电子机械
  • 2篇微电子机械系...
  • 2篇MEMS技术
  • 1篇电子器件
  • 1篇执行器
  • 1篇军事
  • 1篇军事领域
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇中华人民共和...

作者

  • 2篇刘光辉
  • 2篇亢春梅
  • 1篇曹金名

传媒

  • 2篇传感器技术

年份

  • 1篇2002
  • 1篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
MEMS技术的现状和发展趋势被引量：64
2001年
MEMS技术是一门新兴的技术 ,近年来 ,越来越受到世界各国的重视。主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点。
刘光辉亢春梅
关键词：微电子机械系统传感器执行器
国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用被引量：46
2002年
概括介绍了国外MEMS技术的主要工艺、特点、市场及预测、研究发展方向 ,重点介绍了国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用。
亢春梅曹金名刘光辉
关键词：MEMS技术军事领域微电子机械系统电子器件
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共1页<1>
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