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付晓明

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：同济大学波耳固体物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇理学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇微型化
  • 2篇驻极体
  • 2篇SI基
  • 2篇表面电导
  • 1篇表面处理

机构

  • 3篇同济大学

作者

  • 3篇夏钟福
  • 3篇付晓明
  • 2篇张鹏锋
  • 2篇吴贤勇
  • 2篇安振连
  • 1篇张晓青
  • 1篇周涛
  • 1篇沈莉莉
  • 1篇李军
  • 1篇王丽

传媒

  • 1篇功能材料
  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2007
  • 2篇2004
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导
2004年
通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对其电荷寿命的影响.
吴贤勇付晓明夏钟福安振连张鹏锋王丽李军
关键词：微型化表面电导
化学表面处理对微型化的氮氧化硅驻极体层电荷储存性能的影响被引量：1
2007年
研究了化学表面处理对微型化的氮氧化硅膜电荷稳定性的影响,考察了表面处理对脱阱面电荷横向扩散的抑止作用。借助对微型化前后的样品在高温和高湿环境中的表面电位衰减测量的对比,研究了不同试剂的表面处理对微型化样品的电荷储存及其动态特性的影响。
沈莉莉夏钟福周涛付晓明张晓青
关键词：表面处理微型化
用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导
通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对其...
吴贤勇付晓明夏钟福安振连张鹏锋王丽李军
关键词：微型化表面电导
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