杨宏伟
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心更多>>
- 发文基金：深圳市科技计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
- 复合离子镀膜技术制备Cr+Ti+TiNC/TiNC+C／DLC膜性能研究
- 将中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺结合起来制备了Cr+Ti+TiNC／TiNC+C／DLC硬质膜。硬质膜呈深黑色,表面比较光滑,顶层为掺N的DLC,中间层为含C的TiNC,底层为含Ti和C...
- 马胜歌于大洋杨宏伟张以忱
- 关键词：DLC非平衡磁控溅射电弧离子镀
- 文献传递
- 复合离子镀膜技术制备Cr＋Ti＋TiNC／TiNC＋C／DLC膜性能研究被引量：3
- 2008年
- 结合中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺,制备了Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC硬质膜。硬质膜呈深黑色,表面比较光滑,顶层为掺N的类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜,中间层为含C的TiNC,底层为含Ti和Cr的TiNC,力学性能良好。
- 马胜歌于大洋杨宏伟张以忱
- 关键词：类金刚石膜非平衡磁控溅射电弧离子镀
- 离子辅助中频孪生靶非平衡磁控溅射制备Cr+Ti+TiC／TiC+C／C
- 将中频孪生靶磁控溅射、非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积四种技术结合起来开发了复合镀膜工艺,制备了黑色硬质膜。用X射线光电子能谱仪和显微激光拉曼光谱仪分析膜的成分与结构,用扫描电子显微镜、轮廓仪和分光光度计测...
- 马胜歌于大洋杨宏伟张以忱
- 关键词：多层膜非平衡磁控溅射电弧离子镀
- 文献传递
