朱宪亮
- 作品数：21 被引量：21H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术航空宇航科学技术文化科学更多>>
- 杜瓦及热电致冷封装中的温度传感器
- 2018年
- 在对红外光电探测器及焦平面封装结构中常用的三大类若干种温度传感器的特点及关键参数等进行整理的基础上,分析了不同种类传感器的测控精度及误差特点,并对不同温区封装结构中选用温度传感器需要考虑的因素以及使用时需要注意的问题进行了详细讨论。
- 张忆南朱宪亮洪斯敏李雪
- 关键词：热电偶封装
- 红外探测器用多工位真空排气装置
- 本专利公开了一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体、主腔体密封阀、分子泵、插板阀、旁抽阀、机械泵及前级阀。主腔体为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上分布多个外接接头，将公共室分为多个排气支路。主腔体公共真空...
- 曹岚张海燕朱宪亮庄馥隆陆华杰龚海梅
- 文献传递
- 一种多路阻值自动化测量系统
- 本发明公开了一种多路阻值自动化测量系统。其包括老化电源、多路电子开关阵列、数据采集器、限流电阻、电路保护单元及计算机。其中多路电子开关阵列是一个多路单刀双闸开关阵列，其可根据多路红外器件中的任意一路元器件的测试要求，断开...
- 曹岚张海燕朱宪亮夏王季鹏庄腹蓉陆华杰龚海梅
- 文献传递
- 一种小间距红外焦平面混成互连铟柱结构及其制备方法
- 本发明公开了一种小间距红外焦平面混成互连铟柱结构及其制备方法。该方法分别在光敏芯片与读出电路两端设计并制备矩形铟柱凸点结构；该矩形铟柱凸点结构在倒焊互连产生偏移方向上增加了接触面积，一方面提高了偏移方向上的摩擦阻力，起到...
- 朱宪亮宝鹏飞于春蕾李雪邵秀梅马英杰杨波刘大福
- 一种小中心距焦平面探测器的铟球阵列制造方法
- 本发明公开了一种小中心距焦平面探测器的铟球阵列制造方法，方法的步骤为：1)在芯片上涂布光刻胶，并在光刻胶上产生电极孔图形；2)依次蒸镀铬、镍、金三层金属；3)去除光刻胶，产生金属电极；4)沉积介质膜层；5)涂布光刻胶，并...
- 马英杰朱宪亮邵秀梅李雪
- 蒸发因素对高密度焦平面铟凸点制备影响研究
- 2025年
- 高一致性、高深宽比凸点制备是高密度红外焦平面制造的关键技术之一。以10μm间距铟凸点阵列为研究对象,通过提取铟凸点高度、顶部直径、生长速率纵横比和铟膜粗糙度等参数,结合薄膜形核生长理论,深入分析热蒸发过程中关键因素对铟凸点生长的影响,为更小间距铟凸点制备提供理论与技术参考。实验结果表明,沉积速率和基底温度对铟凸点生长的影响具有两面性:一方面,高沉积速率和低基底温度会细化铟膜晶粒,有利于沉积高均匀性铟凸点阵列。基底温度下降了45 K,铟凸点高度非均匀性从15.4%降低到6.6%,铟凸点顶部直径范围差下降了0.9μm。沉积速率增加了21A/s后,铟凸点高度非均匀性从11.8%降低到6.6%,铟凸点顶部直径范围差下降了0.4μm。另一方面,高沉积速率下的动理学粗糙化影响比重增加,铟薄膜粗糙度随沉积速率变化趋缓。同时高沉积速率和低基底温度下的光刻孔缘铟向四周扩散的能力减弱,继续降温后铟层横向生长速率从3.4?/s升至4.1?/s,光刻孔加速闭合不利于高密度、高深宽比、高均匀性铟凸点的生长制备。
- 宝鹏飞朱宪亮于春蕾杨波邵秀梅李雪刘大福
- 关键词：红外焦平面热蒸发基底温度沉积速率
- 短波红外InGaAs焦平面研究进展被引量：13
- 2022年
- 围绕新一代遥感探测仪器应用需求,中国科学院上海技术物理研究所在短波红外InGaAs焦平面探测器领域取得了一系列进展。通过低缺陷外延材料、焦平面芯片制备工艺和低噪声读出电路技术研究,研制实现了最大规模达2560×2048元的10μm中心距1~1.7μm InGaAs焦平面探测器,峰值探测率优于1.0×10^(13)cmHz^(1/2)/W,有效像素率达到99.7%;研制实现了1280×1024元15μm中心距的1~2.5μm延伸波长探测器,峰值探测率优于5.0×10^(11)cmHz^(1/2)/W;发展了新体制新结构器件,研制了单片集成4向偏振功能的160×128元偏振焦平面探测器,消光比优于37:1;研制了64×64元盖革雪崩焦平面探测器,时间分辨率达到0.8 ns。
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- 关键词：铟镓砷焦平面短波红外暗电流
- 一种用于延伸波长InGaAs焦平面探测器的耦合方法
- 本发明公开了一种用于延伸波长InGaAs焦平面探测器的耦合方法，具体步骤如下：1)粘贴光敏芯片，2)减薄抛光，3)涂覆粘合剂，4)粘贴固定基板，5)固化粘合剂，6)分离抛光基板，7)光敏芯片与读出电路耦合，8)底充胶，9...
- 李雪孙夺邵秀梅朱宪亮杨波于一榛李淘
- 文献传递
- 新型航天红外组件寿命试验设备的真空系统设计被引量：1
- 2011年
- 依据新型航天红外组件寿命试验设备的真空系统的技术要求,设计了具有两套抽气系统的全自动化高真空排气台,主真空系统以机械泵和分子泵作为前级泵,溅射离子泵作为主抽泵;辅助真空系统由机械泵和分子泵组成,用于主系统预抽。该真空系统采用计算机控制技术程控真空排气工艺,为多工位结构,具有全自动化的功能。根据理论计算分析,该设备能满足红外组件寿命试验对真空的要求。
- 曹岚杨波朱宪亮张海燕龚海梅
- 关键词：真空自动化
- 一种焦平面探测器两步倒焊工艺方法
- 本发明公开了一种焦平面探测器两步倒焊工艺方法。本方法先通过回熔焊工艺使光敏芯片和读出电路初步形成互连，再采用高平整度材料作为倒焊过渡结构，通过倒焊过渡结构与初步互连的焦平面模块二次冷压焊使光敏芯片和读出电路实现完全互连。...
- 朱宪亮李雪黄松垒李淘邵秀梅张永刚龚海梅
- 文献传递
