王晓艳
- 作品数:3 被引量:2H指数:1
- 供职机构:西安交通大学电子与信息工程学院电子物理与器件教育部重点实验室更多>>
- 发文基金:陕西省“13115”科技创新工程重大科技专项更多>>
- 相关领域:理学电子电信自然科学总论更多>>
- 基于模糊神经网络的冷阴极潘宁离子源束流控制系统
- 2004年
- 设计了一种以TMS320LF2407ADSP器件为控制核心,以模糊神经网络控制为主要算法的智能冷阴极潘宁气体离子源束流控制系统。通过系统中嵌入的神经网络可实现对模糊控制的自适应调节,从而稳定离子源的引出束流,提高离子源的使用性能。
- 赵玉清王晓艳时立峰李东梅
- 关键词:神经网络模糊控制离子源
- 高能氮离子轰击对四面体非晶碳膜的表面改性和摩擦系数影响的研究被引量:1
- 2011年
- 利用过滤阴极真空电弧技术制备了sp3键含量不小于80%的四面体非晶碳(ta-C)膜.利用冷阴极潘宁离子源产生不同能量的氮离子对制备的ta-C薄膜进行轰击,通过X射线光电子能谱和原子力显微镜对薄膜表面结构与形貌进行分析研究.研究表明,随着氮离子的轰击能量的增大,薄膜中的CN键结构略有增大,形成了轻N掺杂;同时,在薄膜表层发生了sp3键结构向sp2键结构的转化;薄膜的表面粗糙度在经过氮离子轰击后从0.2nm减小至0.18nm,然后随着轰击能量的增大,表面的粗糙度又增大到0.33nm.氮离子轰击前后的ta-C薄膜的摩擦系数发生显著改变,从轰击前的0.09nm左右增大至0.16nm左右,但是轰击后的薄膜的摩擦系数与氮离子轰击能量没有明显的依赖关系.
- 韩亮陈仙杨立王炎武王晓艳赵玉清
- 关键词:四面体非晶碳X射线光电子能谱
- 非晶氧化钛薄膜形成过程中钛离子能量对表面结构影响的机理被引量:1
- 2014年
- 研究了非晶氧化钛薄膜沉积过程中入射钛离子能量对表面结构形成机理以及薄膜特性的影响.模拟结果表明,通过提高入射钛离子能量,可以有效降低成膜表面粗糙度,从而减小薄膜表面的光学散射损耗.研究发现,当入射离子能量提高后,薄膜生长模式从"岛"状生长过渡到了"层"状生长,且离子入射点附近的平均扩散系数也有显著增加,这有利于形成更加平整的高质量薄膜表面.
- 陈仙王炎武王晓艳安书董王小波赵玉清
- 关键词:薄膜生长分子动力学