甄万财
- 作品数：5 被引量：14H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 浅谈曲面直写式光刻工艺
- 2015年
- 针对一些曲面栅网器件的加工工艺,从实验装置、光刻原理、光刻工艺及参数要求等方面进行了分析,为后续深入开展曲面直写式光刻工艺打下了基础。
- 甄万财孙明睿
- 关键词：半导体设备曲面光刻
- 一种激光直写式光刻光路系统
- 2015年
- 针对曲面栅网器件的光刻工艺,提出了一种可动态调焦的激光直写式光刻系统,该系统将紫外激光器的光束经过整形扩束、动态z向调焦、x/y振镜、聚焦等单元使器件上相应位置涂覆的光刻胶直接感光,再经过显影、刻蚀等工艺直接制作出相应器件。它可以应用到一些精度要求不太高的平面或非平面器件的光刻加工工艺,取代传统的使用掩模版的光刻工艺或其它的加工工艺。
- 孙明睿甄万财
- 关键词：光刻
- 光刻机光强影响因素分析被引量：1
- 2017年
- 曝光系统是接触接近式光刻机的核心部件,系统的曝光强度对光刻工艺有很大的影响。通过对曝光光路系统进行详细分析,对影响光强的各种因素进行了论述和计算,为进一步改善曝光系统光强指明了方向。
- 孙明睿李雪甄万财
- 关键词：光刻机
- 划片机维护与保养
- 2004年
- 针对划片机的维护与保养提供了一些建设性意见,并对常见故障进行分析的同时也提出了解决方法。
- 甄万财
- 关键词：划片机
- 砂轮划片机划切技术的研究被引量：13
- 2004年
- 砂轮划片机划切技术的研究和应用直接关系到设备应用的好坏。对划切中关键的参数主轴转速、划切速度、基片固定、刀片等进行了系统分析研究,具有指导性地提出了选择该类参数的方法。
- 甄万财
- 关键词：主轴刀片
