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熊涛
作品数:
3
被引量:6
H指数:1
供职机构:
东南大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
理学
电子电信
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合作作者
茅盘松
东南大学微电子中心
张旭
东南大学微电子中心
金肖科
东南大学微电子中心
陈德英
东南大学微电子中心
史建伟
东南大学微电子中心
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东南大学
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1篇
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茅盘松
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1篇
2018
2篇
2001
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扭摆式微硅隧道加速度传感器
被引量:6
2001年
本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型 ,设计了版图、工艺流程及关键工艺 ,并制备出样品 。
陈德英
茅盘松
史建伟
熊涛
张旭
金肖科
关键词:
微硅
扭摆式
隧道效应
加速度传感器
扭摆式隧道加速度传感器研究
该文在第一章首先简要介绍了MEMS技术及其在各领域的应用,介绍了硅微加速度传感器的分类和特点,并提出了该设计的主要任务.第二章对隧道效应的基本原理作了理论上的分析和推导,描述隧道加速度传感器的工作原理,介绍了国外隧道加速...
熊涛
关键词:
加速度传感器
隧道效应
文献传递
新型子全域基函数方法研究
子全域(SED)基函数方法是一种基于矩量法(MoM)的宏基函数(MBF)方法,可以有效的解决电不相连的大规模有限周期阵列的问题。然而,实际工程应用的有限周期结构大部分都是相连的,传统的SED基函数方法在周期单元间距减小的...
熊涛
关键词:
电磁特性
矩量法
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