王玮冰
- 作品数：125 被引量：88H指数：5
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学文化科学更多>>
- 一种温盐溶解氧传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种温盐溶解氧传感器，在衬底的表面设置有相互绝缘的温度工作电极、电导率工作电极和溶解氧工作电极。其中电导率工作电极以及温度工作电极使得衬底中同时集成有温度传感器以及电导率传感器；其中隔离层覆盖溶解氧工作电极的...
- 尚海平曹治王英辉王玮冰
- 文献传递
- CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作
- 研究了一种与CMOS工艺兼容的红外焦平面阵列,在SOI的顶层硅制作横向PN结敏感单元,多晶硅作为微像素支撑桥,氧化层和非晶硅填充的深槽作为XeF2释放阻挡结构。首先,对基于PN结温阻效应的器件的基本工作原理进行了分析探索...
- 明安杰陈大鹏欧文王玮冰何伟刘占峰
- 关键词：FPACMOSSOI
- 文献传递
- 悬浮结构的MEMS红外光源
- 本实用新型公开一种悬浮结构的MEMS红外光源。所述悬浮结构的MEMS红外光源包括薄膜悬浮结构及所述悬浮结构上的红外光源结构；所述薄膜悬浮结构为图形化的支撑层，所述支撑层为沉积在承载衬底上的凹弧状的四梁固支结构；所述红外光...
- 明安杰刘卫兵任耀辉毛海央谭秋林王玮冰熊继军陈大鹏
- 文献传递
- 一种SiC压力传感器
- 本发明公开了一种SiC压力传感器，本发明技术方案所述SiC压力传感器中，一方面，将压阻条设置在第二区域内，可以与现有SiC压力传感器一样使得压阻条位于承压膜片对应压力腔的开口边线附近区域，实现输出电压的最大化，另一方，设...
- 尚海平孙业超王英辉王玮冰
- 文献传递
- 一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法
- 本发明提供了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法，该传感器包括：具有正面梁‑岛结构和背面短梁结构的敏感薄膜、压敏电阻、重掺杂引线、金属引线和玻璃底座；敏感薄膜为硅衬底经过背面刻蚀产生背腔后形成的硅膜；正面梁‑岛结构位...
- 邵锦华薛惠琼王玮冰
- 基于MEMS的光力学红外成像被引量：23
- 2004年
- 非制冷红外成像仪以其优良的性价比和高可靠性而倍受关注。近期 ,非制冷的热机械型红外成像仪有望发展成为新的低价格高性能的红外成像设备。本文提出了一种新型光学读出的红外探测仪。此红外探测仪的核心器件焦平面阵列 (FPA)由无硅基底结构的微悬臂梁阵列构成。每个微悬臂梁独立地把入射的红外热辐射转化为被光学系统探测的热变形。它不需要读出电路、真空腔和制冷装置 ,其理论上的噪声等效温度差接近致冷型红外成像系统 ,而制作成本和难度将大幅降低。制作的无硅基底单层膜结构的FPA ,其单元尺寸为 2 0 0 μm× 1 0 0 μm ,阵列大小为 1 5 0× 1 0 0像素数。实验制作的系统探测到温度为 5 0 0K左右的热物体像 ,热像采样频率为 1 2幅 /秒。
- 潘亮张青川伍小平段志辉陈大鹏王玮冰郭哲颖
- 关键词：非制冷微悬臂梁像素数红外成像系统光力学FPA
- 一种自校准红外热电堆温度传感器及自校准方法
- 本发明涉及红外传感技术领域，尤其涉及一种自校准红外热电堆温度传感器及自校准方法包括发热电阻与信号处理模块连接；热电堆通过放大器与信号处理模块连接；本地温度测量模块与信号处理模块连接；信号处理模块与自校准响应分析模块连接，...
- 黄宽王玮冰李佳
- 文献传递
- 一种差压式压阻传感系统及其自测试方法
- 本发明涉及压阻传感器技术领域，具体涉及一种差压式压阻传感系统及其自测试方法。该传感系统中，薄膜层靠近第一保护层的一侧设有压阻条；第一保护层远离薄膜层的一侧设有金属电极；金属电极与压阻条电连接；金属板设置在第二保护层远离薄...
- 朱曼红李佳王玮冰陈大鹏
- 半导体器件与其制作方法
- 本申请提供了一种半导体器件与其制作方法。该制作方法包括：提供第一待键合结构，第一待键合结构包括具有凹槽的第一衬底，第一衬底的材料包括碳化硅；提供第二待键合结构，第二待键合结构包括依次叠置设置的第二衬底、感应层和形变层，感...
- 王英辉尚海平王玮冰
- 文献传递
- 一种压力传感器制造方法
- 本发明公开了一种压力传感器制造方法，该方法包括：对Si衬底进行预处理；对进行预处理后的Si衬底正面进行注入掺杂；对注入掺杂后的Si衬底进行金属布线；对完成金属布线后的Si衬底进行背面光刻刻蚀，得到感压膜片；进行硅硅室温键...
- 李婷尚海平王玮冰
