-
钱鹤
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 韩郑生
- 作品数：664被引量：244H指数：7
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：SOI 绝缘体上硅 电路 SRAM 半导体器件
- 徐秋霞
- 作品数：366被引量：65H指数：4
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
- 海潮和
- 作品数：135被引量：129H指数：7
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：SOI 绝缘体上硅 PDSOI 集成电路 电路
- 赵玉印
- 作品数：30被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：刻蚀 掩模 反应离子刻蚀 多晶硅栅 碳化硅
- 李俊峰
- 作品数：528被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
