-
韩国威
-
-
- 所属机构:中国科学院半导体研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 宁瑾
- 作品数：74被引量：69H指数：5
- 供职机构：中国科学院半导体研究所
- 研究主题：电极 牺牲层 锚点 MEMS 4H-SIC
- 司朝伟
- 作品数：36被引量：43H指数：3
- 供职机构：中国科学院半导体研究所
- 研究主题：锚点 电极 压电层 MEMS 谐振器
- 杨富华
- 作品数：487被引量：256H指数：7
- 供职机构：中国科学院半导体研究所
- 研究主题：淀积 电极 相变存储器 谐振器 纳米尺寸
- 赵永梅
- 作品数：68被引量：20H指数：3
- 供职机构：中国科学院半导体研究所
- 研究主题：碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
- 王晓东
- 作品数：425被引量：1,153H指数：17
- 供职机构：中国科学院半导体研究所
- 研究主题：淀积 相变存储器 纳米尺寸 微装配 刻蚀
