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非制冷红外探测器
本实用新型提供一种非制冷红外探测器，包括：基底、反射镜、导电吸气剂锚柱、微桥及热敏电阻；基底内设置有读出电路，所述导电吸气剂锚柱与读出电路电连接，所述微桥架设于导电吸气剂锚柱上，所述热敏电阻位于微桥背离导电吸气剂锚柱的表...
李胜利徐云霞汪新学
非制冷红外探测器
姚浩强李海涛杨晓杰
①课题来源与背景：非制冷红外探测器正常工作需要高真空环境，通常采用金属管壳或者陶瓷管壳来封装。此方法工艺成熟，但管壳质量重、体积大，产品功耗大、工艺耗时长、效率低、成本高，封装成本占了整个探测器的70%-80%。所以封装...
关键词：
关键词：红外探测器芯片
非制冷红外探测器
2001年
本发明提供一种非制冷辐射红外探测器,它由偶极天线、衬底、闭锁接点以及带隙探测器元件等构成。偶极天线固定在衬底上。
高
关键词：非制冷红外探测器偶极天线衬底
一种非制冷红外探测器像素级封装结构及制备方法
本发明属于半导体技术领域，公开了一种非制冷红外探测器像素级封装结构及制备方法，包括：在读出电路衬底上基于牺牲层制作MEMS微桥结构以及罩设于各个MEMS微桥结构上的像素封装结构腔体；在像素封装结构腔体上开设沉积孔并对所述...
黄晟黄立江致兴叶帆王春水汪超蒋文杰雷素云邱芊
一种低孔洞率非制冷红外探测器管壳的钎焊方法
本发明提供一种低孔洞率非制冷红外探测器管壳的钎焊方法，涉及钎焊技术领域，包括在封口环侧边镀金限制焊料爬升，使焊料完全熔化后固定在原位，降低孔洞率，本发明在低成本钎焊工艺中，在金属件非焊接区通过镀金增加阻焊带，同时调整钎焊...
刘阿敏王华丽徐春林黄海祁元太
非制冷红外探测器读出电路及非制冷红外探测器
本申请提供了一种非制冷红外探测器读出电路及非制冷红外探测器。读出电路包括非制冷红外焦平面阵列、像元选通模块、逻辑控制模块及读出电路模块。非制冷红外焦平面阵列包括多行多列的红外敏感像元；像元选通模块与各红外敏感像元连接；逻...
何佳刘俊郜倩倩
非制冷红外探测器读出电路、红外探测器及其控制方法
本申请提供了一种非制冷红外探测器读出电路、红外探测器及其控制方法。所述控制方法应用于非制冷红外探测器，所述非制冷红外探测器包括具有多行多列红外敏感像元的非制冷红外焦平面阵列，所述控制方法包括控制所述非制冷红外探测器执行第...
刘俊何佳郜倩倩
一种应用于非制冷红外探测器的氧化钒刻蚀方法
本发明公开了一种非制冷红外探测器的氧化钒刻蚀方法，该方法包括：1)提供衬底，在衬底表面形成氧化钒薄膜和氮化硅薄膜；2)在氧化钒薄膜和氮化硅薄膜上形成图形化的光刻胶；3)刻蚀氮化硅薄膜，深度为1/3～2/3；4)去除光刻胶...
石玉娜李立华杨君杨春丽黎秉哲方辉张杰龚晓霞孔令德鄢善入
一种面阵型像素封装非制冷红外探测器及制备方法
本发明涉及非制冷红外探测器技术领域，更具体涉及一种面阵型像素封装非制冷红外探测器及制备方法，其制备方法包括在读出电路衬底上划分像元区和吸气剂区，制备结构腔体，在结构腔体上制作第一释放孔和第二释放孔，完成结构腔体牺牲层的释...
黄晟黄立江致兴叶帆王春水方明秦曼妮雷素云邱芊
一种非制冷红外探测器及非制冷红外探测器制备方法
本申请公开了一种非制冷红外探测器及非制冷红外探测器制备方法，属于MEMS器件技术领域。本申请采用台阶覆盖能力比钛层的台阶覆盖能力强的导电层作为锚柱，当使用硬掩模形成接触孔时，在具有底切结构的接触孔中能够更好地覆盖在接触孔...
孙传彬赵福
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梁中翥
作品数：269被引量：297H指数：9
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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秦余欣
作品数：309被引量：146H指数：6
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：成像光谱仪 阵列器件 傅里叶变换光谱仪 快照 微小型化
梁静秋
作品数：586被引量：576H指数：12
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：傅里叶变换光谱仪 成像光谱仪 阵列器件 电铸 快照
吕金光
作品数：305被引量：190H指数：6
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：成像光谱仪 傅里叶变换光谱仪 阵列器件 快照 空间调制
褚君浩
作品数：846被引量：1,072H指数：13
供职机构：中国科学院上海技术物理研究所
研究主题：铁电 铁电薄膜 红外探测器 HGCDTE HG