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自动聚焦方法、量测方法及量测模块
本发明提供一种自动聚焦方法、量测方法及量测模块，自动聚焦方法包括：获取标定晶圆表面的任一点在m个工作区域下的高度值，并计算得到不同工作区域中任两个工作区域之间相对于标定晶圆表面的高度差值；m为大于等于2的整数；通过自动聚...
邱青菊全鹏飞庄源
量测方法及相关联的量测设备
公开了一种用于确定与衬底上的至少一个目标相关的感兴趣参数的方法。该方法包括：获得包括至少一个不对称性信号的量测数据，该至少一个不对称性信号包括来自目标的测量参数的差或不平衡；获得已被训练或配置为使所述至少一个不对称性信号...
S·纳吉布扎德N·加瓦赫里
一种硅片量测方法、系统及电子设备
本申请公开了一种硅片量测方法、系统及电子设备，在对待量测硅片进行量测时，可调取目标量测列表中的信息，以便按照目标量测列表中的信息对目标量测列表中包括的属于同一类型的至少一个量测目标进行量测，通过在量测列表中设置同一类型的...
冯昆仑
半导体量测方法和量测主站点
本申请涉及一种半导体量测方法和量测主站点，包括：提供一批待测样品，采用一量测主站点对待测样品进行良率监控；在所述量测主站点的站点过货开关开启时，采用量测主站点中的第一切入站点对所述待测样品进行处理，生成所述待测样品的第一...
宫珊珊许元和蔡俊郎
一种半导体量测结构及半导体研磨量的量测方法
本申请涉及半导体技术领域，公开一种半导体量测结构及半导体研磨量的量测方法。半导体量测结构设置在晶圆上，半导体量测结构至少包括沟槽区域及研磨区域；其中，研磨区域的顶表面高于沟槽区域的顶表面，且研磨区域的侧壁与沟槽区域的顶表...
任冠青袁东林李南军王林霞张超刘宏喜王戈飞
量测方法和相关联的量测装置
公开了一种确定与形成在衬底上的至少一个对应的层中的结构相关的至少一个所关注的参数的方法，所述方法包括：获得与所述结构的测量结果相关的所测量的量测数据；获得模型，所述模型依据多个模型参数描述所述结构，所述模型参数包括估计值...
奥玛尔·埃尔高哈利P·P·赫芬斯坦L·F·范赖斯韦克N·基鹏H·L·琼奎尔A·因弗尼齐H·A·J·克瑞姆
量测方法和相关联的量测装置
公开了一种量测方法。所述方法包括：使用欠填充的照射来辐照衬底上的包括一个或更多个子目标的目标，使得照射束轮廓对所述一个或更多个子目标中的每个子目标进行欠填充；捕获由对所述目标进行的所述辐照产生的散射辐射；在检测图像平面处...
O·V·兹维尔E·J·科普
取样量测方法及设备
本申请提供一种取样量测方法及设备。该方法包括：根据生产单元对应制程的取样比例，周期性地对生产单元的在制品进行取样量测，其中，每个生产单元用于完成至少一个制程；根据生产单元对应制程的在制品的量测结果，确定生产单元对应制程的...
朱贺
自动基板切片制作方法、量测方法、制作系统及量测系统
本发明提供一种自动基板切片制作方法、量测方法、制作系统及量测系统，自动基板切片制作方法包括：定位一基板上的一目标区域，并分离基板上的目标区域以获得一个或多个裁切样本；经由一拾取装置拾取裁切样本，并移动裁切样本至一载板上的...
邹嘉骏王人杰林伯聪赖明正
CDSEM快速量测方法、装置、介质、程序产品及终端
本申请提供CDSEM快速量测方法、装置、介质、程序产品及终端，通过引入量测位置补偿和预设自动对焦电压值的技术手段，实现了CDSEM量测过程的优化。具体步骤包括：获取多个待量测点的坐标，基于这些坐标生成量测顺序，并进行多次...
刘畅
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邱业建
作品数：19被引量：48H指数：3
供职机构：中南大学
研究主题：沉降量 量测方法 冲击器 沉降 车架
李志清
作品数：217被引量：713H指数：18
供职机构：中国科学院地质与地球物理研究所
研究主题：剪切 土石混合体 仪器制造 膨胀土 碎石土
贾东梨
作品数：59被引量：474H指数：9
供职机构：国家电网公司中国电力科学研究院
研究主题：配电网 智能配电网 分布式电源 有源 配电网重构
赵超
作品数：568被引量：38H指数：4
供职机构：清华大学
研究主题：半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
雷明锋
作品数：452被引量：1,625H指数：20
供职机构：中南大学土木工程学院
研究主题：隧道 盾构隧道 隧道工程 隧道施工 计算方法