搜索到5546篇“ 薄膜传感器“的相关文章
全部数字资源类型
相关度排序
一种具有薄膜传感器的轴承
一种具有薄膜传感器的轴承，涉及一种轴承及用于轴承的附件。目的是为了克服现有轴承监测传感器与轴承分离、体积大，导致轴承结构复杂、占用空间大以及可靠性不足的问题，包括轴承内圈和轴承外圈，还包括薄膜传感器；薄膜传感器包括传感层...
刁庆白晓峰麻健鹏孙靖尧战利伟卓识李正辉
一种基于金属基底的薄膜传感器绝缘层复合结构
本发明公开了一种基于金属基底的薄膜传感器绝缘层复合结构，包括金属基底层，设置在金属基底层上的粘接层，设置在粘接层上的第一绝缘层，设置在第一绝缘层上的第二绝缘层，设置在第二绝缘层上的第三绝缘层，在第三绝缘层上设置的传感器电...
曹建峰
一种耐高温压电薄膜传感器结构及其制备方法和应用
本发明公开了一种耐高温压电薄膜传感器结构及其制备方法和应用，所述传感器结构由下至上包括衬底、压电层、保护层和电极层，所述保护层的材质为高熵合金氧化物；在衬底与压电层之间设置有第一防扩散阻挡层，和/或，压电层与保护层之间还...
曾晓梅佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇杨兵亚历山大·波格雷布尼亚克拉希姆伯根·拉希莫夫
集温度、应变和热流测试功能为一体的耐高温薄膜传感器及其制备方法
本发明公开了一种集温度、应变和热流测试功能为一体的耐高温薄膜传感器及其制备方法，该耐高温薄膜传感器包括基底以及其表面设置的高温胶层、Ta<SUB>2</SUB>O<SUB>5</SUB>薄膜层和SiO<SUB>2</SU...
余浪车颜贤张浩何峰杨晓生周国方
基于金属基底的压电薄膜传感器及加工工艺
本发明属于薄膜传感器技术领域，尤其涉及一种基于金属基底的压电薄膜传感器，金属基底的端面设有多个层结构，多个层结构包括压电层和多个电极层，多个电极层逐层叠设在压电层上。本发明在不改变压电层材料和结构的前提下，通过逐层增加电...
王凤起廖成冉小龙叶勤燕何绪林罗坤郑兴平
一种用于了解垫片对薄膜传感器性能影响的检测方法
本申请公开了一种用于了解垫片对薄膜传感器性能影响的检测方法，涉及薄膜传感器技术领域，该方法包括以下步骤:在薄膜传感器的离子薄膜表面设置指定材质的垫片；待垫片设置完成后，对薄膜传感器进行性能测试，并记录测试结果。本申请操作...
陈立波于翔宇陈冬冬
一种基底磁控溅射沉积压电薄膜传感器的电极引脚焊接机
本发明公开了一种基底磁控溅射沉积压电薄膜传感器的电极引脚焊接机，本发明涉及焊接机技术领域，由于焊接材料与焊接加热头之间的接触出现错位，导致焊接材料热熔效果不良，无法充分将焊接材料融化，使引脚的焊接质量降低。该基底磁控溅射...
莫国伟于慧金志刚
耐辐射的基于金属基底的压电薄膜传感器及紧固件
本发明属于薄膜传感器技术领域，尤其涉及一种耐辐射的基于金属基底的压电薄膜传感器及紧固件，压电薄膜传感器包括由内至外依次层叠设置于金属基底顶部端面的压电层、防辐射层和电极层，防辐射层包括多个第一膜层，多个第一膜层逐层叠设于...
何绪林廖成冉小龙罗坤何铁叶勤燕郑兴平张辰玺王凤起
基于多通道压敏薄膜传感器的探针接触检测系统
本公开提供了一种基于多通道压敏薄膜传感器的探针接触检测系统，涉及半导体芯片封装及测试技术领域，用以解决传统依赖机械或光学接触检测方法中存在的灵敏度低、区域受限以及接触压力不均匀的技术问题。该系统包括：载物台，其中，载物台...
金亚袁海庆李明祝宁华
一种嵌入式薄膜传感器
本发明公开了一种嵌入式薄膜传感器，包括依次连接金属基底层、基底粘接层、绝缘层、上粘接层、种子层、封装层，传感器电路层嵌入在绝缘层中，传感器电路的焊盘裸露在外用于连接。本发明采用嵌入式结构使传感器得到完全的保护，满足更加恶...
曹建峰
加载更多 ∨

相关作者

赵晓辉
作品数：111被引量：36H指数：3
供职机构：电子科技大学
研究主题：薄膜传感器 金属基 薄膜热电偶 应变计 传感器
蒋洪川
作品数：196被引量：391H指数：10
供职机构：电子科技大学
研究主题：薄膜传感器 金属基 绝缘层 磁控溅射 薄膜热电偶
张万里
作品数：570被引量：658H指数：12
供职机构：电子科技大学
研究主题：薄膜传感器 热释电 电极 石墨烯 微波
武文革
作品数：156被引量：414H指数：12
供职机构：中北大学
研究主题：薄膜传感器 力测量 刀具系统 刀具 切削力
成云平
作品数：70被引量：53H指数：4
供职机构：中北大学
研究主题：力测量 薄膜传感器 刀具系统 刀具 切削力