搜索到400篇“ 纳机电系统“的相关文章
- 纳机电系统被引量：17
- 2004年
- 纳机电系统 (NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域 ,同时也是纳米技术的重要组成部分 .文中介绍了NEMS器件的微小尺寸、超高频率和超低能耗等重要特性 ,并列举了NEMS在生物、信息和纳米流体学等领域的应用 .最后讨论了NEMS在发展中遇到的问题和涉及到的关键技术 ,如微观效应的影响 ,NEMS加工技术 ,NEMS的设计、仿真和优化 ,NEMS器件的驱动与检测 ,NEMS器件与宏观世界的通讯等 .
- 胡小唐李源饶志军胡春光傅星
- 关键词：微机电系统纳机电系统
- 可扩展纳机电系统的电学调控
- 小型化至微纳尺度的电控机械谐振器在技术领域和基础物理研究上都产生了重大影响。微机电系统(Microelectromechanical systems,MEMS)在包括智能手机中的天线、陀螺仪，汽车中的加速度计，医院里的血...
- 应钺
- 关键词：纳机电系统
- 基于单晶金刚石微/纳机电系统的研究及应用
- 金刚石因其独特的性能在MEMS/NEMS领域得到了应用。与多晶/纳米晶金刚石相比,单晶金刚石(SCD)因其更为优秀的性能而尤其值得探索。另一方面,单晶金刚石内在的能量损耗很少,而且能够通过机械振动和其天然富含的高品质NV...
- 吴海华
- 关键词：Q因子等离子体刻蚀
- 基于纳机电系统的重金属离子检测及富集方法相关问题研究
- 随着工业的快速发展，环境污染问题日积月累、日趋严重，越来越受到人们的重视，其中重金属污染是最为关注的污染之一。重金属由于毒性大，即使含量甚微也会对人的健康造成严重的影响，水体中重金属离子的监测要求具有快速性和便捷性。微/...
- 张悦
- 关键词：纳机电系统静电驱动
- 基于纳机电系统的微小质量检测方法研究
- 随着微机械加工技术的提高，NEMS走进人们的视野。NEMS在计量学、基础科学、生物医疗等方面的潜力极大增加了研究人员对纳米器件的研究热情。其中NEMS器件对微小质量的检测是很重要的一部分。目前大部分对NEMS器件的研究都...
- 赵蕴阳
- 关键词：纳米机电系统谐振器静电驱动压阻检测
- 基于石墨的纳机电系统的外驱动可控振动（英文）
- 2017年
- 采用数值计算方法研究了基于石墨的纳机电系统在周期性简谐驱动力作用下实现稳定振动的条件.确定了获得持久稳定的振动的系统和控制力参数.计算和分析了两块石墨片等长及不等长时纳米振子的操作特性.结果表明,通过选择合适的驱动振幅和频率,能够实现石墨片的持久稳定振动.该方法对于进一步研究纳机电系统的设计有重要的参考价值.
- 李健文刘念华
- 关键词：纳机电系统纳米振子驱动频率石墨
- 基于碳纳米管的纳机电系统的可控稳定振动（英文）
- 2017年
- 采用数值方法研究了基于双壁碳纳米管的纳机电系统在周期性简谐驱动力作用下实现稳定振动的条件。确定了获得持久稳定的振动的系统和控制力参数。计算和分析了双壁碳纳米管的操作特性。结果表明,通过选择合适的驱动振幅和频率,能够实现双壁碳纳米管的持久稳定振动。该方法对于进一步研究基于碳纳米管的纳机电系统的设计有重要的参考价值。
- 李健文刘念华
- 关键词：纳机电系统纳米振子驱动频率碳纳米管
- 纳米技术手册 第2册 微纳机电系统和生物微纳机电系统
- 本书详尽阐述基本概念及纳米材料、器件、加工等内容，1500多幅插图、众多的综合表帮助理解和使用，并给出了详尽的参考数据。本册为第2册。
- （美）Bharat
- 关键词：英文机电系统
- 英国基于微纳机电系统的Gun-Hard惯性测量装置研究进展
- 2013年
- BAE SYSTEMS(英国航太系统公司)是一家惯性传感器和系统的最主要供应商,该公司正在研制基于微纳机电系统的惯性测量装置。SilMU02TM在炮射制导射弹的发射环境中受到严重冲击和振动后,依然仍能够抗毁和运行,并且,其体积小到足以适合下一代小口径制导火箭和导弹。该文通过跟踪第一代SiIMU01TM到第二代SiIMU02TM的合理进程,介绍了惯性测量装置的结构,分析了下一步所依循的线路图,甚至未来达到更小、更佳性能的微机电系统惯性测量装置。该文还介绍了如何通过将传感器技术与SiIMU02TM中所用惯性测量装置结构相结合来解决编制制导炮弹程序这些问题。
- 莫非陈秦
- 关键词：惯性测量装置
- 硅和石墨烯材料纳机电系统的机电耦合特性研究
- 纳机电系统(NEMS)是集成了电学和机械功能的纳米尺寸器件，是微机电系统(MEMS)进一步小型化的延伸，但也具有纳米尺度下不同于MEMS的特别之处。NEMS具有较小尺寸、较轻活动部件、高谐振频率、高品质因数等优点，引起学...
- 高海源
- 关键词：纳机电系统硅纳米线石墨烯
相关作者
- 周兆英
- 作品数：632被引量：2,818H指数：27
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
- 研究主题：微型飞行器 MEMS 微机电系统 微型机械 传感器
- 于虹
- 作品数：71被引量：55H指数：4
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：硅 纳米 半导体激光器 压阻 纳机电系统
- 于普良
- 作品数：51被引量：23H指数：3
- 供职机构：武汉科技大学
- 研究主题：承载力 刚度 同构 素数 均压槽
- 黄庆安
- 作品数：923被引量：857H指数：13
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
- 胡小唐
- 作品数：449被引量：1,118H指数：15
- 供职机构：天津大学
- 研究主题：原子力显微镜 微机电系统 MEMS 微结构 扫描隧道显微镜
