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等离子体处理装置
本发明的等离子体处理系统包括第一等离子体处理装置和第二等离子体处理装置。第一等离子体处理装置和第二等离子体处理装置各自包括等离子体处理腔室、基片支承部、电功率消耗部件、接地框、蓄电部、受电线圈、和整流平滑部。接地框与离...
永岛望吉越大祐山形邦彦
等离子体处理装置
本发明的等离子体处理装置包括馈电线圈、受电线圈、至少一个金属壳和至少一个铁氧部件。馈电线圈设置在等离子体处理腔室的外部。受电线圈与蓄电部电连接,能够通过电磁感应耦合从馈电线圈接收电功率。至少一个金属壳能够提供屏蔽空...
永岛望吉越大祐山形邦彦
等离子体处理装置
本发明的等离子体处理装置包括馈电线圈、受电线圈和至少一个驱动系统。馈电线圈设置在等离子体处理腔室的外部。受电线圈与蓄电部电连接,能够通过电磁感应耦合从馈电线圈接收电功率。至少一个驱动系统能够使馈电线圈和受电线圈中的至少一...
永岛望吉越大祐山形邦彦
等离子体处理装置
本发明提供一种能够获得均匀的等离子体空间的等离子体处理装置。等离子体处理装置包括:处理容器、载置台、遮护部件、开口用的可升降的闸门、第1驱动部和第2驱动部。处理容器具有侧壁,在该侧壁形成有被处理的搬入搬出用的输送通路。...
砂金优
等离子体处理装置及方法
本发明提供能够在晶圆键合工序或基板键合工序之前通过等离子体对晶圆或基板的表面进行前处理等离子体处理装置及方法,可以包括:处理室,内部形成有用于容纳晶圆或基板的容纳空间;等离子体发生装置,为了在晶圆键合工序或基板键合工序...
姜知惠刘永俊金是勋
等离子体处理装置
提供一种能够调节离子鞘层的厚度分布的技术。本公开的等离子体处理装置包括:等离子体处理腔室;配置于所述等离子体处理腔室内的基片支承部;配置于所述等离子体处理腔室的上方的天线;源RF信号生成部,其与所述天线电连接,构成为能够...
松本直树
利用等离子体处理基板的装置
依据本发明的实施例的利用等离子体处理基板的装置,包括:腔室,形成被供应处理的内部空间;基板固持器,设置在上述内部空间中以支持基板;介电窗,位于上述基板固持器上部;至少一个天线,设置在上述介电窗外侧,以便由供应至上述内...
崔伦硕
等离子体处理装置和蚀刻方法
本发明的等离子体处理装置包括:等离子体处理腔室;包括下部电极、静电吸盘和边缘环的基片支承;配置在基片支承的上方的上部电极;向上部电极或下部电极供给生成源RF电功率的生成源RF电源;向下部电极供给偏置电功率的偏置电源;...
鸟井夏实高山航铃木贵幸加藤宽基
一种等离子体处理装置和处理方法
本发明公开了一种等离子体处理装置及处理方法,包括一反应腔,所述反应腔包括:进气装置,用于向所述反应腔输送清洁气;射频电源,用于将所述清洁气解离为清洁等离子体;清洁晶圆,具有第一直径;静电吸盘,用于承载所述清洁晶圆,具...
周艳倪图强
用于自下而上生长的氮等离子体处理
一种形成半导装置结构的方法包括在至少一个特征内形成成核层。所述方法包括将成核层暴露于氮等离子体处理。氮等离子体处理优先处理顶场和侧壁,同时留下实质上未处理的底表面以促进自下而上的金属生长。
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张迎晨
作品数:511被引量:66H指数:4
供职机构:中原工学院纺织学院
研究主题:纳米铝粉 薄膜太阳能电池 细菌纤维素 纤维 纱线
杨建忠
作品数:298被引量:1,137H指数:17
供职机构:西安工程大学
研究主题:表面改性 低温等离子体处理 低温等离子体 织物 山羊绒
邱夷平
作品数:251被引量:374H指数:9
供职机构:东华大学纺织学院
研究主题:三维机织 常压等离子体 碳纳米管 机织物 常压等离子体处理
吴红艳
作品数:445被引量:53H指数:4
供职机构:中原工学院图书馆
研究主题:纳米铝粉 细菌纤维素 薄膜太阳能电池 纱线 纤维
刘必前
作品数:152被引量:140H指数:7
供职机构:中国科学院化学研究所
研究主题:低温等离子体处理 溶剂法 再生纤维素 纺织品加工 纺丝原液