搜索到1188篇“ 离子镀膜“的相关文章
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多弧离子镀膜装置
本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种多弧离子镀膜装置。该多弧离子镀膜装置包括镀膜模组，镀膜模组包括真空室、镀膜弧源和刻蚀弧源，镀膜弧源和刻蚀弧源均与真空室相连接，真空室的内部用于通入反应气体。该多弧离子镀膜装置采用...
王君闫超颖依君梁惠朋
用于离子镀膜的弧源
本发明涉及一种用于离子镀膜的弧源，采用了在安装组件内固定靶材组件；在靶材组件的下方固定绝缘法兰；在绝缘法兰下方用绝缘紧固组件，将水冷组件固定在安装组件上；在水冷组件的下方通过在水冷组件上的螺纹连接结构，将磁场组件与水冷组...
陈寰张瑞谦杨元才伍晓勇褚家宝孙金伟李紫祎王晓敏徐祺杜沛南
一种真空离子镀膜领域的柱塞专用退膜器具
本实用新型公开了一种真空离子镀膜领域的柱塞专用退膜器具，包括柱塞、退膜支架和退膜槽，所述柱塞由上至下由手柄、卡环和柱体三部分组成，所述退膜支架是由上、下两层网孔层之间连接支撑杆组成，所述柱塞的卡环外径大于网孔层的孔径使柱...
王谕王宇王吉哲
一种脉冲电弧离子镀膜的在线检测系统及方法
本发明公开了一种脉冲电弧离子镀膜的在线检测系统及方法，系统包括：所述真空室内设有放置工件的工作台；工作台一侧设置有脉冲电弧离子源，所述工作台另一侧设有视觉相机；工控机电性控制脉冲电弧离子源和视觉相机动作，所述脉冲电弧离子...
冯森陈新春邹梁李永奇
一种用于真空离子镀膜设备的冷却系统
本发明涉及一种用于真空离子镀膜设备的冷却系统，包括进液分配单元、出液分配单元、换热单元、调节单元，镀膜腔室上设置有各镀膜源装置，镀膜腔室上具有A冷却腔道单元，各镀膜源装置上分别具有B冷却腔道单元，调节单元用于对流体的流速...
张心凤刘洋陈玉梅
一种可均匀镀膜的真空离子镀膜装置
本发明公开了一种可均匀镀膜的真空离子镀膜装置，涉及镀膜装置技术领域，包括支撑板，所述支撑板的上端设置有真空镀膜装置主体，所述真空镀膜装置主体的一侧设置有防护门；本设计的真空离子镀膜装置，在真空镀膜装置主体的内壁需要清理时...
郭书周
一种用于真空离子镀膜设备的工艺气体流量调控装置
本实用新型涉及一种用于真空离子镀膜设备的工艺气体流量调控装置，流量调控装置上设置有用于与气源装置相连通连接的进气组件、用于与真空镀膜腔室相连接的出气组件，真空镀膜腔室与抽真空设备相连接，出气组件上设置有用于调整流量调控装...
张心凤陈玉梅刘洋
一种用于顶装式多弧离子镀膜设备的积木式组合工装
本发明提供一种用于顶装式多弧离子镀膜设备的积木式组合工装，包括多个单件工装和连接杆，单件工装包括外壳、主动轮、从动轮；工作时，将单件工装安装在连接杆上；连接杆与设备的行星轮连接，将设备行星轮的转动传递至连接杆；通过连接杆...
杨鹏雷丹陈伟韩文莉亢兴王玉锋刘红斌过月娥
离子镀膜设备（D1000X1000大尺寸）
1.本外观设计产品的名称：离子镀膜设备（D1000X1000大尺寸）。;2.本外观设计产品的用途：用于离子镀膜。;3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。;4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
李志方
一种离子镀膜源装置
本实用新型涉及一种离子镀膜源装置，包括用于固定靶材的转动安装的冷却安装座、以及与冷却安装座相连接且同步转动的冷却循环组件，冷却循环组件、冷却安装座均用于组成冷却液循环回路，冷却组件和冷却安装座均与电源阴极相连接。本实用新...
张心凤夏正卫汪鹏张春福储呈琰
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林国强
作品数：160被引量：417H指数：12
供职机构：大连理工大学
研究主题：电弧离子镀 脉冲偏压电弧离子镀 脉冲偏压 燃料电池 双极板
吴博
作品数：27被引量：36H指数：4
供职机构：大连理工大学
研究主题：燃料电池 离子溅射 离子镀膜 离子 梯度薄膜
董闯
作品数：671被引量：1,630H指数：22
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题：强流脉冲电子束 团簇 合金 电弧离子镀 ZR
吴爱民
作品数：170被引量：283H指数：10
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院
研究主题：纳米粉体 强流脉冲电子束 ECR-PECVD 表面改性 燃料电池
郭媛媛
作品数：10被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学
研究主题：离子溅射 离子镀膜 离子 燃料电池 梯度薄膜