相关作者
- 王跃林

- 作品数:723被引量:799H指数:14
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
- 赵海波

- 作品数:133被引量:262H指数:8
- 供职机构:四川大学
- 研究主题:离子刻蚀 氧化铝 刀具涂层 涂层 阻燃
- 鲜广

- 作品数:127被引量:111H指数:5
- 供职机构:四川大学
- 研究主题:离子刻蚀 氧化铝 电弧离子镀 涂层 切削刀具
- 殷华湘

- 作品数:759被引量:17H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
- 顾长志

- 作品数:321被引量:235H指数:9
- 供职机构:中国科学院物理研究所
- 研究主题:金刚石膜 衬底 金刚石 石墨烯 金刚石薄膜