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- 一种磁悬浮转子组件及高速电机
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- 一种用于快速退火设备的磁悬浮转子
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- 潘洋刘闻敏曹德生王美玲张建祁广杰
- 一种磁悬浮转子临界转速预测模型及优化方法
- 本申请公开了一种磁悬浮转子临界转速预测模型及优化方法，涉及磁悬浮电机技术领域，预测模型包括芯轴，芯轴两端轴肩处设有叶轮，芯轴中部外周套设有永磁体，在永磁体两侧的芯轴外周套设有环状部；在芯轴轴向上，环状部与芯轴间隔设置，且...
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- 一种三轮自动居中小车及磁悬浮转子定位模拟系统
- 本实用新型公开了一种三轮自动居中小车及磁悬浮转子定位模拟系统，车底板的底部设置有定向轮，车底板的顶部连接有电源外壳，电源外壳中设置有电源，车底板的端部设置有超声波距离检测传感器模块，车底板的底部两侧分别连接有一个减速马达...
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- 一种带磁悬浮转子的半导体加工设备及晶圆定位方法
- 本发明提出一种带磁悬浮转子的半导体加工设备及晶圆定位方法，其属于半导体设备技术领域，所述半导体加工设备中的反射板上设置有定位孔，机械手上设置有对准孔且对准孔与定位孔位置对应，机械手上设置有用于放置晶圆的承载区，对准孔位于...
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- 一种轴向磁悬浮转子特征的节能水泵
- 本发明涉及水泵技术领域，且公开了一种轴向磁悬浮转子特征的节能水泵，包括底座，所述底座的底部固定连接有电机驱动器，所述底座的顶部固定连接有下轴承盖，所述下轴承盖上固定安装有下滑动轴承，所述下滑动轴承的顶部固定安装有悬浮磁环...
- 罗桂萍
- 计量级磁悬浮转子真空计技术分析
- 2025年
- 自磁悬浮转子真空计技术应用以来,得到稳步推进,但随着科学技术不断发展及工业生产对测量精度要求日益提高,如何进一步提升磁悬浮转子真空计的测量精度与稳定性已势在必行。基于此,将从计量级磁悬浮转子真空计分析着手分析,对计量级磁悬浮转子真空计的结构进行详细探寻,对其在真空测量领域的优势进行深入分析,深入剖析计量级磁悬浮转子真空计技术,旨在进一步提升该技术性能与应用效果,推动其在更多领域实现高精度、高稳定性真空测量。
- 贺栗
- 关键词：磁悬浮转子真空计
- 磁悬浮转子真空计水蒸气校准方法研究
- 2025年
- 磁悬浮转子真空计在高真空范围内具有优异的计量特性,但水蒸气等可凝性气体在测试过程中会在腔室或者转子表面发生显著的吸附或相变,这将引起压力测量值产生偏差,导致磁悬浮转子真空计切向动量传递系数的非线性变化。针对此问题,首先通过对固态冰抽气升华产生平衡稳定的水蒸气前级压力,然后通过绝热膨胀获得标准压力,并分别在常温(23℃)和高温(150℃)下测试了水蒸气分子在腔室表面的吸附、脱附曲线,计算得到相同压力下对应的吸附量、脱附量,最后对测量值和修正后标准压力之间的偏差进行了分析。测试结果表明:常温(23℃)下难以获得精确的标准压力,只能计算关闭阀门后水蒸气分子在腔室及其附属管道壁面的吸附量;高温(150℃)下,部分水蒸气分子会吸附在温度小于150℃的旁余管道壁面,造成测量压力略小于标准压力。
- 宋云见习振华李博文张虎忠李刚张开旭李得天
- 关键词：静态膨胀法水蒸气
- 基于自适应陷波器与ESO的磁悬浮转子振动抑制方法
- 2025年
- 为实现对磁悬浮系统转子不平衡扰动、传感器误差以及不确定扰动的抑制,设计了一种自抗扰控制与级联的自适应陷波器结合的复合控制方法。建立了磁悬浮转子的动力学模型,分析了系统受到扰动的来源与形式。设计了基于归一化最小均方算法的自适应陷波器与三阶线性扩展状态观测器相结合的控制策略。进行了仿真和实验验证,结果表明,在同频、倍频扰动与低频扰动的干扰下,与单独使用PID控制相比,设计的复合控制方法能使转子的位移跳动减小约41.4%。
- 王麒臻张俊梅徐向波
- 关键词：主动磁轴承自适应陷波器自抗扰控制状态观测器
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- 作品数：188被引量：153H指数：8
- 供职机构：北京航空航天大学
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- 作品数：413被引量：960H指数：16
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- 作品数：351被引量：222H指数：10
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- 韩邦成
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