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电容式位移传感器
本发明涉及一种带有壳体的电容式位移传感器。在所述壳体中构造有用于至少能沿空间方向移动支承的滑动件的容纳部。所述容纳部具有参考区域，在该参考区域内，所述滑动件与位移无关地在安置在所述滑动件的第一侧上的板状接地电极和安置在所...
R.萨曼
电容式位移传感器
本发明涉及一种带有壳体的电容式位移传感器。在所述壳体中构造有用于至少能沿空间方向移动支承的滑动件的容纳部。所述容纳部具有参考区域，在该参考区域内，所述滑动件与位移无关地在安置在所述滑动件的第一侧上的板状接地电极和安置在所...
R.萨曼
电容式位移传感器
本发明涉及一种带有可设置在电路板上的壳体的电容式位移传感器。在所述壳体中构造有用于至少能够沿一个空间方向移动支承的滑动件的容纳部。该容纳部具有参考区域，在该参考区域内，滑动件与位移无关地在布置于滑动件的第一侧上的板状接地...
鲁道夫.赛曼
电容式位移传感器
本发明提供一种新型电容式位移传感器，同时展宽发送电极和接收电极，通过信号相序的适当排列组合，彻底摆脱了电极节距和相移原有的固定关系。可以在不影响测量精度和分辨率的情况下降低加工要求，或者在相同的加工条件下提高测量的精度和...
马礼耀
电容式位移传感器
本发明提供一种新型电容式位移传感器，同时展宽发送电极和接收电极，通过信号相序的适当排列组合，彻底摆脱了电极节距和相移原有的固定关系。可以在不影响测量精度和分辨率的情况下降低加工要求，或者在相同的加工条件下提高测量的精度和...
马礼耀
电容式位移传感器
本实用新型提供一种新型电容式位移传感器，同时展宽发送电极和接收电极，发送电极的节距等于位移节距的整数倍，接收电极的节距等于位移节距的整数倍。通过信号相序的适当排列组合，彻底摆脱了电极节距和相移原有的固定关系。可以在不影响...
马礼耀
一种大量程高精度变电容式位移传感器
本发明公开了一种大量程高精度变电容式位移传感器，该传感器包括动极板与静极板两大核心部件，相对于静极板，在其上方的动极板可以在水平方向上移动。且静极板上包含有用于精确测量的发射电极和两组接收电极，动极板上则包含有相对应的两...
李言彧徐明龙张舒文翟崇朴 李一凡
基于多级校正与相敏检波的电容式位移传感器接口电路
本发明提供一种基于多级校正与相敏检波的电容式位移传感器接口电路，所述电路包括：电容传感器探头接口，激励信号输入接口，参考电容，多级运算放大电路，大地接口，相敏检波电路，供电接口以及电压信号输出接口。多级运算放大电路包括高...
胡庆雷兰云龙王薪宇钟建朋金子棋
一种基于MEMS的线性差分电容式位移传感器
本发明提供一种基于MEMS的线性差分电容式位移传感器，涉及微机电系统传感器领域，包括基体、芯片模块和测量模块，基体为半开口C字型结构，具有一端开口的空腔；芯片模块为支撑式悬空结构，包括设于空腔上方的差分电容位移传感层，差...
韩晓东张家宝张剑飞杨旭东李志鹏徐昊宇王昊伟
一种高精度电容式位移传感器
本实用新型提出了一种高精度电容式位移传感器，属于测量仪器技术领域。解决了现有电容式位移传感器无法实现稳定均匀的电场而影响测量精度的问题。它包括电极、探针和电极引线，所述电极上套接电极绝缘屏蔽环，所述电极和电极绝缘屏蔽环的...
李洪敏闫更辉杨明远陈峰
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卢明明
作品数：144被引量：48H指数：5
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林洁琼
作品数：330被引量：249H指数：8
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周晓勤
作品数：307被引量：174H指数：7
供职机构：吉林大学
研究主题：压电叠堆 金刚石刀具 柔性铰链 扑翼飞行器 自由曲面
谷岩
作品数：187被引量：51H指数：3
供职机构：长春工业大学
研究主题：压印 紫外纳米压印 超精密加工 压电叠堆 柔性铰链
赵东坡
作品数：18被引量：3H指数：1
供职机构：长春工业大学
研究主题：压电叠堆 电容式位移传感器 金刚石刀具 车削装置 柔性铰链