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一种微机械加速度计
本发明提供一种微机械加速度计，包括：至少四个固定锚点，固定锚点整体形成矩形，且位于矩形的四个顶点处；惯性质量模块，位于矩形的中间位置且与所有固定锚点分别连接；多个弹性连接模块，分别连接于惯性质量模块与固定锚点之间；以及多...
吴涛熊瑞宏
全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法
本发明公开了一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法，该Z轴微机械加速度计包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板；上敏感层中心位置设置加热器，下方是中间加热腔；下敏感层包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加...
朴林华李备佟嘉程王灯山
全方位动热源摆式双轴微机械加速度计及其加工方法
本发明公开了一种全方位动热源摆式双轴微机械加速度计及其加工方法，该双轴加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和两对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六...
朴林华李备佟嘉程王灯山
全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法
本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感...
朴林华李备佟嘉程王灯山
一种电容式微机械加速度计
本发明提供一种电容式微机械加速度计，电容式微机械加速度计的弹性支承结构包括2对具有特定几何形状的呈对称设置的非线性弯梁，该具有非线性弯梁的4弹性弯梁支承结构，能够在器件小尺寸条件下，降低微机械加速度计的弹性支承结构的刚度...
熊瑞宏李昕欣陈方
动热源摆式全方位微机械加速度计及其加工方法
本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对...
朴林华李备佟嘉程王灯山
一种微机械加速度计
本发明属于微机械传感器技术领域，公开了一种微机械加速度计，包括敏感框架、基板、锚点、组合折叠梁和圆弧形梳齿；所述锚点包括第一锚点和第二锚点，所述敏感框架通过组合折叠梁与第一锚点相连；所述基板设置在敏感框架的内侧与敏感框架...
侯占强吴学忠肖定邦蹇敦想邝云斌
一种三轴微机械加速度计及其控制方法
本发明公开了一种三轴微机械加速度计及其控制方法，属于加速度测量技术领域，包括XY两轴直线加速度和Z轴角加速度测量。通过单质量块和L形弹性梁，保证加速度计前三阶振动模态分别为上述三轴敏感运动。基于梳齿电容组合设计，提出闭环...
马志鹏金仲和
一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构
本发明公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接，第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离，检测电容C<Sub>1</Sub>的动极板和检测电容C<Sub>3</Su...
王志周骏王龙峰山永启雷龙海
自带平衡电阻的微机械加速度计
本发明公开了一种自带平衡电阻的微机械加速度计，其包括基底层、敏感层、和盖板；敏感层中心位置下方设置腔体，腔体中心设置加热器；敏感层包含有两个热敏电阻和两个平衡电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为直...
朴林华佟嘉程
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董景新
作品数：190被引量：550H指数：11
供职机构：清华大学
研究主题：加速度计 微机械加速度计 微机电系统 微机械 微加速度计
朴林华
作品数：189被引量：101H指数：6
供职机构：北京信息科技大学
研究主题：微机械 陀螺 气流式 抗振动 角速度传感器
刘云峰
作品数：128被引量：630H指数：15
供职机构：北京大学第三医院
研究主题：早产儿 新生儿 微机械加速度计 加速度计 微加速度计
金仲和
作品数：542被引量：676H指数：13
供职机构：浙江大学
研究主题：卫星 谐振式光纤陀螺 微机械陀螺 微小卫星 种皮
王灯山
作品数：79被引量：13H指数：2
供职机构：北京信息科技大学
研究主题：微机械 陀螺 抗振动 热源 热敏电阻