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用于平面电动机的定子
用于驱动平面电动机的转子的定子单元(700)包括定子纵向层(710)的第一布置和定子倾斜层(711)的第二布置。定子纵向层(710)包括第一线圈导体(125)并且定子倾斜层(711)包括第二线圈导体(126)。第二线圈导...
洛尔福·布林克曼卢卡斯·本特菲尔德乌瑟·普鲁斯迈尔
平面电动机的支撑结构
本发明涉及一种用于平面电动机(3)的输送单元(4)的支撑结构(7)，输送单元可被平面电动机(3)的定子(6)移动并且产品(3)可设置在输送单元上，在输送单元(4)的相对支撑结构限定的支撑位置中，支撑结构(7)将支撑力施加...
M·豪尔 S·弗利克斯德 M·豪杜姆
用于平面电动机的定子
用于驱动平面电动机的转子的定子单元(700)包括定子纵向层(710)的第一布置和定子倾斜层(711)的第二布置。定子纵向层(710)包括第一线圈导体(125)并且定子倾斜层(711)包括第二线圈导体(126)。第二线圈导...
洛尔福·布林克曼卢卡斯·本特菲尔德乌瑟·普鲁斯迈尔
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一种低损耗式长行程的磁浮平面电动机
本发明公开了一种低损耗式长行程的磁浮平面电动机，包括冷却箱和悬浮平台，所述冷却箱上端四角通过第一螺栓固定连接有密封上盖，所述底座上端通过第二螺栓固定连接有环形对称设置的线圈固定板，所述线圈固定板外侧固定连接有定子绕组，所...
温鲜慧王爱玲胡大伟
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多相线性电动机、多相平面电动机、平台、光刻设备和器件制造方法
描述一种电磁电动机，该电磁电动机包括：磁体组件，被配置为生成在第一方向上具有节距Pm1并且在第二方向上具有节距Pm2的二维交变磁场；线圈组件，被配置为与磁体组件协作以在第一方向上生成第一力并且在第二方向上生成第二力，其中...
M·H·基曼D·布拉克斯玛P·M·S·M·海杰曼斯C·A·霍根达姆
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多相线性电动机、多相平面电动机、平台、光刻设备和器件制造方法
描述一种电磁电动机，该电磁电动机包括：磁体组件，被配置为生成在第一方向上具有节距Pm1并且在第二方向上具有节距Pm2的二维交变磁场；线圈组件，被配置为与磁体组件协作以在第一方向上生成第一力并且在第二方向上生成第二力，其中...
M·H·基曼D·布拉克斯玛P·M·S·M·海杰曼斯C·A·霍根达姆
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平面电动机
本实用新型公开一种平面电动机，它不同于旋转电机、也有异于直线电机的往复运动，它没有中间转换机构，通过控制电路使动子在定子板上纵横行进；它是利用三相交流电的相位差使嵌有绕组的铁芯上形成交变的行波磁通，在与这个交变磁通对应的...
徐建宁
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永磁同步平面电动机的滑模控制器设计被引量：6
2014年
为了实现永磁同步平面电动机的高性能定位伺服控制,提出了基于干扰观测器的滑模控制方法。基于改进的超螺旋算法,设计了永磁同步平面电动机的位置伺服控制器,在闭环系统中采用干扰观测器,对外部大扰动进行补偿,滑模控制器用来消除干扰观测误差,从而提高系统的鲁棒性和抗干扰能力。对所设计的控制系统进行了仿真研究,结果表明所采用的控制策略和控制算法使系统获得较好的定位精度,同时具有良好的鲁棒性和稳定性。
王丽梅郑浩贾启
关键词：位置控制器干扰观测器滑模控制
一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台
一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，该粗微动一体掩模台包括粗微动一体掩模台动台、平衡质量、驱动电动机、掩模板、基座、隔振系统及测量系统；隔振系统位于平衡质量与基座之间，掩模板安装在粗微动一体掩模台动台上；掩模台动台的驱...
朱煜张鸣支凡刘召成荣杨开明张利秦慧超赵彦坡田丽叶伟楠张金尹文生穆海华胡金春
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一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台
一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，该粗微动一体掩模台包括粗微动一体掩模台动台、平衡质量、驱动电动机、掩模板、基座、隔振系统及测量系统；隔振系统位于平衡质量与基座之间，掩模板安装在粗微动一体掩模台动台上；掩模台动台的驱...
朱煜张鸣支凡刘召成荣杨开明张利秦慧超赵彦坡田丽叶伟楠张金尹文生穆海华胡金春
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朱煜
作品数：572被引量：850H指数：16
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张鸣
作品数：403被引量：299H指数：10
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
尹文生
作品数：321被引量：660H指数：12
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
张赫
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供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：磁悬浮 机器人 平面电机 直线电机 永磁体
李立毅
作品数：557被引量：828H指数：17
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：直线电机 电枢绕组 转子 永磁同步电机 永磁同步直线电机