搜索到 篇“ 平面电动机 “的相关文章

相关作者

朱煜
作品数:572被引量:850H指数:16
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
张赫
作品数:302被引量:190H指数:9
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:磁悬浮 机器人 平面电机 直线电机 永磁体
李立毅
作品数:557被引量:828H指数:17
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:直线电机 电枢绕组 转子 永磁同步电机 永磁同步直线电机
张鸣
作品数:403被引量:299H指数:10
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
尹文生
作品数:321被引量:660H指数:12
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机