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一种压电超声换能器及其制备方法
本发明涉及半导体工艺技术领域,尤其涉及一种压电超声换能器及其制备方法,包括衬底,衬底正面形成压电层,衬底贯穿开设背腔,在压电层表面形成结构层,结构层的厚度大于压电层中压电薄膜的厚度,在结构层表面设置防漏音层;沿振膜边缘开...
张政虎徐妍徐涛
一种基于MEMS芯片的压电超声换能器
本发明公开了一种基于MEMS芯片的压电超声换能器及制备方法,换能器包括衬底,衬底具有相对的正面及背面,在衬底的正面形成压电层,在衬底背面开设有贯穿至压电层的背腔,在压电层的表面形成有结构层,背腔纵向投影面积范围内的压电层...
张政虎杨胜满陆祥
压电超声换能器金属外壳切削工艺研究
2025年
为满足金属导电物体探测的要求,采用机械方法切削压电超声换能器金属外壳以形成0.10 mm绝缘台阶。借助有限元仿真软件ANSYS/LS DYNA分析发现,径向切削过程中陶瓷片所受应力为56.35 MPa,远小于轴向切削过程中陶瓷片所受应力216.25 MPa,故在分段叠加切削过程中陶瓷片所受的应力变形明显更小。结合理论分析和切削试验制定了3次叠加径向进刀工艺,优化了金属残留毛刺去除方法,解决了切削过程中频发的换能器匹配透声端面损伤及其与压电陶瓷分层的问题,对于压电超声换能器的应用推广具有重要意义。
李亚飞董姝李瑞峰鲜晓军唐盘良马晋毅
关键词:超声换能器金属外壳有限元仿真
表面与缺陷调控型大功率压电超声换能器
2025年
在大功率压电超声换能器中设计合理的声子晶体缺陷结构,可以实现对杂散振动模态的有效抑制.但当换能器尺寸较大时,声子晶体缺陷结构对换能器设备辐射面的位移振幅改善情况仍不理想.如何既能有效抑制有害振动,又能保证换能器的工作效率,提高换能器辐射面的位移振幅,一直都是功率超声领域亟待解决的难题.研究发现,声学表面结构可以实现能量的单向传输,更好地降低能量损耗,提高能量传输的效率.基于此,本文提出了表面与缺陷调控型大功率压电超声换能器的研究.通过在换能器中设计合理的缺陷和声表面结构,激发声波的强局域化效应,实现声学反常透射,大幅提高换能器纵向辐射声功率.同时利用数据分析技术,对声学表面结构和缺陷结构的材料成分、几何结构参数对换能器性能的影响进行分析,建立大功率压电超声换能器的性能预测模型,实现换能器的优化设计.从定量研究的角度出发,系统性地提出一种大功率压电超声换能器优化设计的新理论和新方法.仿真和实验证明,本研究可以提高大功率压电超声换能器的创新设计能力和设计的智能化水平,使得换能器在大功率应用环境中振动模态更加单一,大幅提高了辐射面的位移振幅和振幅分布均匀度.
林基艳林基艳陈诚陈诚林书玉林书玉郭林伟
半导体划切压电超声换能器径向振动特性分析
2025年
径向复合压电换能器安装于轴类部件时,换能器与夹紧部件会产生严重的机械耦合,因此提出一种新型弹性背衬结构,利用有限元方法分析弹性背衬对换能器振动特性的影响,并对换能器进行实际加工。结果表明,弹性背衬Z形弹性连接结构能起到很好的隔振作用,但会降低换能器径向共振频率,由43 920 Hz降至34 715 Hz;增加Z形弹性连接悬臂梁的臂厚或减短悬臂梁的梁长能提高换能器径向共振频率;优化换能器结构,实现转矩和载荷的有效传递,使径向共振频率达到37 316 Hz;加工换能器后测得实际共振频率为36 602 Hz,与仿真结果吻合较好,但受限于装配工艺,换能器阻抗过高,使得换能器在20 V电压下难以达到理论的微米级振幅,实测振幅仅为0.2 μm,若加大激励电压,振幅会显著增大。
封仕龙刘磊汪炜
关键词:压电换能器径向振动有限元分析
针对夹心式压电超声换能器的动力学建模方法、装置、电子设备、存储介质及程序产品
本发明实施例公开了一种针对夹心式压电超声换能器的动力学建模方法、装置、电子设备、存储介质及程序产品,包括:根据压电层中应用的压电材料的动力学方程,确定压电层的广义应力与广义位移之间关系的机电阻抗矩阵;根据背衬层中应用的弹...
丁文翔郭钰钟红梅梁召峰赵伟宋志刚王文斌
双排斜槽纵-扭复合振动压电超声换能器
2025年
为了提升纵-扭复合振动换能器的输出效率,该文研究了双排斜槽纵-扭复合振动压电超声换能器,其由一个夹心式压电超声换能器和一个带有双排斜槽的空心圆柱传振杆组成。给出双排斜槽纵-扭复合振动压电超声换能器的等效电路图,推导了输入阻抗和频率方程。基于有限元仿真软件分析了斜槽的排数和双排斜槽的倾角、间距、长度、宽度、深度和传振杆周向刻槽数量等几何形状对纵-扭复合振动压电超声换能器共振频率和输出端平均扭转量的影响。设计和加工了换能器,实验测试表明理论共振频率与实验结果吻合较好,双排斜槽纵-扭复合振动压电超声换能器可以有效提升输出端平均扭转量和纵向-扭转振动的比率。
陈奕豪林书玉
关键词:扭转振动
压电超声换能器及其工作方法
本发明涉及一种压电超声换能器及其工作方法;该压电超声换能器含有从上到下依次设置的顶电极层﹑压电层﹑底电极层﹑基底层和固定板,顶电极层中含有1个中央顶电极单元和N‑1个周边顶电极单元,周边顶电极单元均匀分布在中央顶电极单元...
牟笑静易拥洁周鸿李东晓
一种高频气介质压电超声换能器
本实用新型提供了一种高频气介质压电超声换能器,其特征在于,它包括:外壳,其呈圆环状,且两端皆具有安装口;匹配层,其安装在外壳一端的安装口上,且朝外凸出;隔离板,其安装在外壳另一端的安装口上;所述匹配层内侧面上安装有金属片...
肖龙顾佳铭黄国华
一种压电超声换能器及其制作方法
本发明公开了一种压电超声换能器及其制作方法,涉及压电超声换能器技术领域,包括由内向外依次设置的柔性电子电路结构、压电结构和外电极结构,所述柔性电子电路结构的内侧形成有用于药物或导丝穿过的通道,所述压电结构包括压电基体和若...
黄天云黄启国赛华阳郭弘泽段慧玲杨森

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刘世清
作品数:481被引量:1,898H指数:18
供职机构:浙江师范大学
研究主题:脊髓损伤 骨关节炎 羧甲基壳聚糖 软骨细胞 径向振动
林书玉
作品数:449被引量:1,939H指数:25
供职机构:陕西师范大学物理学与信息技术学院
研究主题:超声换能器 压电陶瓷 换能器 径向振动 等效电路
孙成亮
作品数:183被引量:16H指数:2
供职机构:武汉大学
研究主题:谐振器 压电层 电极 薄膜体声波谐振器 压电
郝震宏
作品数:55被引量:27H指数:4
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:硅 压电超声换能器 薄膜体声波谐振器 射频微机电系统 超声换能器
王磊
作品数:362被引量:713H指数:11
供职机构:华中科技大学
研究主题:超声换能器 压电超声换能器 能量转换效率 播发 钟差