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- 一种真空靶室中大面积靶卢瑟福背散射分析的方法
- 本发明公开了一种真空靶室中大面积靶的RBS分析的方法,本发明在真空靶室中设置可相对束流做水平和垂直移动的二维移动平台,二维移动平台通过控制系统控制移动,控制系统借助MAESTRO软件实现了多点连续测量,借助SIMNRA软...
- 黄宁安竹王鹏范轶翔王跃翟磊章筱迪刘慢天
- 卢瑟福背散射分析元素浓度深度分布的计算方法研究被引量:2
- 2019年
- 卢瑟福背散射实验可通过背散射粒子的能谱分析材料中杂质元素浓度及深度分布,其中,获取深度分布的计算方法主要包括近似计算法(表面能量近似和平均能量近似)与数值积分法,计算过程涉及的阻止本领由SRIM程序给出。该文对计算难度小、准确度低的近似计算方法和计算难度大、准确度高的数值积分法进行了比较,给出在5%误差范围内表面能量近似和平均能量近似的适用范围,为实验数据处理过程中计算方法的选取提供依据。
- 陈秀莲张洁覃雪刘军
- 关键词:数值积分
- 固体乏燃料表面的卢瑟福背散射模拟研究
- 2018年
- 为了研究固体乏燃料表面核素的种类、含量以及厚度对卢瑟福背散射能谱的影响,通过SIMNRA软件模拟背散射能谱,研究了I、Pm、U等典型核素及核素含量、靶材厚度对背散射能谱的影响.结果表明,不同核素对应不同的能量峰,核素的元素质量数越大,背散射能量越大;核素含量越高,相应的能谱高度(峰面积)越大.此外,能谱的半高宽度与靶材的厚度存在线性关系,能谱的半高宽度正比于靶材的厚度越厚.
- 刘祖光李新霞孙向上
- 一种真空靶室中大面积靶卢瑟福背散射分析的方法
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- 精确测定In_xGa_(1-x)N晶体薄膜中铟含量的卢瑟福背散射法研究被引量:1
- 2017年
- 采用金属有机化合物气相淀积法(MOCVD)在蓝宝石上生长InxGa1-xN/Ga N晶体薄膜,Ga N缓冲层的厚度为2.5μm,InxGa1-xN晶体薄膜的厚度大约800 nm,通过光致发光光谱仪测量样品发光峰的峰值,确定铟镓氮晶体薄膜中铟分布的均匀性,取样品均匀性良好的铟镓氮晶片进行卢瑟福背散射实验,每个实验室测量6个样品,两个实验室共同完成,对数据进行分多层精确拟合分析,获得外延层中的xIn,xIn值由多层拟合结果的加权平均值和定值不确定度组成。研究结果表明:采用入射离子4He,能量为2 000 ke V,散射角为165°时,铟镓氮晶片中铟含量(x=20.46%)的相对测量不确定度为2.47%,包含因子k=2。
- 王雪蓉刘运传孟祥艳周燕萍王康王倩倩
- 关键词:卢瑟福背散射测量不确定度
- 采用光致发光法和卢瑟福背散射法测定AIxGa1-xN薄膜中的Al元素含量及斯托克斯移动研究
- 2014年
- 采用深紫外光致发光技术测量AIxGa1-xN半导体薄膜的禁带宽度,结合软件模拟计算AIxGa1-xN薄膜的弯曲因子b,测定了AIxGa1-xN薄膜中的Al元素含量,同时采用卢瑟福背散射技术测定AIxGa1-xN薄膜中的Al元素含量。结果显示,AIxGa1-xN薄膜的激发光谱和吸收光谱测得的禁带宽度一致,说明AIxGa1-xN薄膜中不存在斯托克斯移动,由MaterialStudio软件计算得到弯曲因子b为1.01eV,符合理论值;在卢瑟福背散射测量中,模拟谱和随机谱重合较好,能够准确测得灿元素含量。两种方法测定的AIxGa1-xN外延膜样品中的A1组分含量基本一致,光致发光法结果比背散射法结果稍大,而且Al含量越小,测量结果越吻合。
- 王雪蓉刘运传孟祥艳周燕萍王康
- 关键词:光谱学铝含量光致发光
- ^4He离子卢瑟福背散射的Geant4模拟被引量:5
- 2013年
- 利用Geant4程序模拟了270keV、500keV4He离子垂直入射到Au、Ag、Cu薄膜的卢瑟福背散射谱(RBS),讨论了材料、厚度和入射离子能量对背散射谱的影响。对比不同能量4He离子的背散射谱,能量较大的4He离子进行薄膜背散射元素分析具有较好的质量分辨率。
- 张慧梅雪松关世荣庞杨周巍鲁彤
- 关键词:GEANT4重离子
- 4He和12C离子卢瑟福背散射的Geant4模拟
- 卢瑟福背散射分析技术(Rutherford Backscattering Spectrometry)简称RBS是一种无损、快速、直接分析表面杂质浓度和杂质深度的重要分析技术,也是离子束分析中非常重要的分析手段之一。它在离...
- 王振超
- 关键词:GEANT4重离子
- Al_xGa_(1-x)N晶体薄膜中铝含量的卢瑟福背散射精确测定被引量:6
- 2013年
- 采用金属有机化合物气相淀积法在(0001)取向的蓝宝石衬底上生长一层大约20nm厚的AlN缓冲层,在缓冲层上生长大约2μm厚、晶体质量良好的AlxGa1-xN外延层,通过深紫外光致发光法测量发光峰的能量Eg判断外延层中铝含量的均匀性,取样品均匀性良好的氮铝镓外延片进行卢瑟福背散射(RBS)实验,通过两个高能离子束实验室分别进行RBS随机谱分析,每个实验室测量六个样品,由分析软件拟合随机谱获得外延层中的xAl.并对样品的均匀性、堆积校准、计数统计、散射角、离子束能量与阻止截面等影响测量结果准确性的不确定度来源进行分析.结果表明,采用入射离子4He,能量为2000keV,散射角为165时,氮铝镓外延片中铝含量(x=0.8)的测量不确定度为2.0%,包含扩展因子k=2.
- 刘运传周燕萍王雪蓉孟祥艳段剑郑会保
- 关键词:卢瑟福背散射测量不确定度
- 分析薄膜厚度与成分的卢瑟福背散射技术被引量:7
- 2010年
- 对卢瑟福背散射分析技术的基本原理、试验设备、样品要求及数据处理方法进行了介绍,并举例分析了硅衬底上钛膜厚度的测定,以及钼衬底上钛钼合金膜的实际组分以及氦离子注入杂质的分布范围和实际剂量测定。讨论了卢瑟福背散射技术的发展和应用,介绍了弹性反冲、高能非卢瑟福散射和沟道技术三种分析方法。
- 刘超卓
- 关键词:卢瑟福背散射金属薄膜厚度合金成分
相关作者
- 王雪蓉

- 作品数:39被引量:72H指数:5
- 供职机构:中国兵器工业集团第五三研究所
- 研究主题:硫含量 铝镓氮 XGA 铝含量 卢瑟福背散射
- 刘向东

- 作品数:23被引量:31H指数:4
- 供职机构:山东大学物理学院
- 研究主题:离子注入 卢瑟福背散射 脉冲激光烧蚀 脉冲激光 FTO
- 孟祥艳

- 作品数:45被引量:76H指数:5
- 供职机构:中国兵器工业集团公司
- 研究主题:测量不确定度 铝镓氮 XGA 铝含量 卢瑟福背散射
- 刘运传

- 作品数:47被引量:103H指数:6
- 供职机构:中国兵器工业集团
- 研究主题:测量不确定度 铝镓氮 XGA 铝含量 卢瑟福背散射
- 王广甫

- 作品数:101被引量:198H指数:8
- 供职机构:北京师范大学核科学与技术学院
- 研究主题:PIXE 串列加速器 离子 大气颗粒物 质子