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单晶硅
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相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关度排序
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被引量排序
时效性降序
时效性升序
一种
单晶硅
基片夹具
本实用新型涉及
单晶硅
技术领域,且公开了一种
单晶硅
基片夹具,包括:底板,还包括:底板的表面等距设置有多组夹座,且底板的两侧固定连接有立板,立板的两侧通过齿杆伸缩设置有侧板;立板的内部通过操作杆转动连接有齿轮盘,且齿轮盘的外...
崔彦波
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一种
单晶硅
片移转支架
本实用新型公开了一种
单晶硅
片移转支架,涉及
单晶硅
片技术领域;而本实用新型包括底板,所述底板的上表面固定设有安装框,所述安装框的上下均贯穿设置,所述安装框内固定设有多个等间距分布的隔板,所述隔板呈竖直设置,所述隔板其中一侧...
黄金强
张力峰
刘慧
一种
单晶硅
片抛光装置
本实用新型公开了一种
单晶硅
片抛光装置,包括装置本体,装置本体包括安装箱、固定平台、打磨装置和调节装置,固定平台安装在安装箱顶部,打磨装置安装在固定平台顶部,调节装置安装在安装箱内;固定平台包括底板、侧限位板和挡板,侧限位...
邹彩凤
单晶硅
的制作方法
本发明提供了一种
单晶硅
的制作方法,包括:在坩埚内形成
硅
液,所述
硅
液内包括掺杂剂磷和掺杂剂锑,所述掺杂剂磷在所述
硅
液中的质量浓度为A,所述掺杂剂锑在所述
硅
液中的质量浓度为B,A和B满足B/A=50‑250;通过直拉法生长成...
陈宗霆
张华利
汪晨
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周洁
耿浩浩
赵玉兵
苏健
一种
单晶硅
片切片设备
本发明属于半导体技术领域,具体的说是一种
单晶硅
片切片设备,包括底座框架,底座框架的上端设有辅助结构,底座框架上端靠近辅助结构的一端设有切片结构,且切片结构用于对
硅
棒进行切割;切片结构包括:切片框架,切片框架设在底座框架的...
曹玉宝
高树良
刘陈亚
一种
单晶硅
片检测装置
本发明属于
单晶硅
片检测技术领域,涉及一种
单晶硅
片检测装置。本发明包括工作台、检测单元和搬运单元;所述工作台上开设有闭合的第一滑槽,第一滑槽限位滑动连接有第一吸附组件,第一吸附组件用于固定
硅
片,所述检测单元包括摄像头和背光...
唐朝辉
蒋继林
肖兰星
一种
单晶硅
片研磨机
本实用新型公开了
单晶硅
片研磨技术领域的一种
单晶硅
片研磨机,包括工作台和焊接于工作台顶部一侧的支撑板,所述工作台的顶部通过转动机构连接有数量为两个的研磨框,两个所述研磨框的顶端设有用于对
单晶硅
片进行固定夹持的夹持机构,所述...
周磊
段琳琳
一种
单晶硅
片脱胶设备
本发明属于
单晶硅
片脱胶技术领域,具体的说是一种
单晶硅
片脱胶设备,包括用于盛装脱胶液的机体和若干用于支撑
单晶硅
片的承接组件,还包括:滑动安装在机体内的支架,支架用于放置晶托;两个对称安装在机体内的伸缩杆,承接组件安装在伸缩...
高树良
李小锋
张怿
一种
单晶硅
片分片装置
本发明公开了一种
单晶硅
片分片装置,涉及半导体材料加工技术领域,包括:两个呈对称设置的辊体,所述辊体的两端均设置有辊座,以便所述辊体转动设置于所述辊座上;传动套设于两个所述辊体之间的多根分片丝,所述分片丝用于分切
单晶硅
棒;...
荀耀
姚伟忠
一种
单晶硅
掺杂装置
本实用新型涉及
单晶
炉技术领域,具体涉及一种
单晶硅
掺杂装置,包括腔体,且腔体的开口端固定连接有法兰盘,所述腔体内设置有移动柱,所述移动柱的端部可拆卸安装有掺料斗,所述移动柱远离掺料斗一端的表面固定套设有内磁套,所述腔体的表...
王燕飞
王亚普
王艺澄
文勇
郭光华
王军磊
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杨德仁
作品数:987
被引量:902
H指数:15
供职机构:浙江大学
研究主题:太阳电池 硅 直拉硅单晶 欧姆接触电极 硅片
裘安萍
作品数:177
被引量:273
H指数:12
供职机构:南京理工大学
研究主题:单晶硅片 硅 玻璃衬底 硅微陀螺仪 谐振式加速度计
余学功
作品数:201
被引量:72
H指数:6
供职机构:浙江大学
研究主题:太阳电池 硅 单晶硅 硅片 晶体硅
施芹
作品数:146
被引量:163
H指数:9
供职机构:南京理工大学
研究主题:单晶硅片 硅微陀螺仪 硅 玻璃衬底 谐振式加速度计
苏岩
作品数:299
被引量:268
H指数:9
供职机构:南京理工大学
研究主题:陀螺 单晶硅片 加速度计 硅 玻璃衬底
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