搜索到6424篇“ 半导体表面“的相关文章
全部数字资源类型
相关度排序
半导体表面缺陷的处理方法和半导体器件的制备方法
该发明公开了一种半导体表面缺陷的处理方法和半导体器件的制备方法，所述半导体表面缺陷的处理方法包括：将半导体器件置于等离子体处理设备内，所述半导体器件包括衬底和形成在所述衬底表面的沉积层，所述沉积层形成有气泡；对所述沉积层...
江向红
一种半导体表面杂质处理装置及其方法
本发明提供了一种半导体表面杂质处理装置及其方法,涉及半导体清洗领域，包括外壳体和支撑脚，所述外壳体内部的中端为干燥仓，所述干燥仓的左右两侧分别为干法清洗仓以及湿法清洗仓，所述干法清洗仓和湿法清洗仓均为两端带有中空半球形的...
茆宏宁江斌郁言威高兴陆嘉黎李民王耽耽
一种半导体表面的镀膜方法
本发明公开了一种半导体表面的镀膜方法，包括：对半导体基体进行预清洗处理；在真空室内，对预清洗后的半导体基体进行分阶段镀膜处理，以在半导体基体的表面分阶段沉积形成若干层硅膜；对半导体基体的表面再次进行镀膜处理，以在所述硅膜...
刘晓明
一种半导体表面的加工方法
本发明公开了一种半导体表面的加工方法，包括：将待加工的半导体放置在金刚石划线机的工作台上，半导体具有第一表面和与第一表面相对的第二表面，第一表面与工作台接触，金刚石划线机上设有金刚石刀；控制金刚石刀在第二表面上分别进行第...
张俊群
一种半导体表面处理方法
本发明公开了一种半导体表面处理方法，包括：对半导体基体的表面进行清洗处理；在真空室内，通过溅射硅靶在清洗后的半导体基体的表面沉积形成硅涂层；向真空室内通入氩气和甲烷，以0度角度在所述硅涂层的表面沉积形成类金刚石涂层；其中...
祁延刚
一种利用激光检测半导体表面平整度的设备
本发明公开了一种利用激光检测半导体表面平整度的设备，涉及半导体检测技术领域，包括底座，所述底座的上端固定连接有安装座，所述底座的上表面开设有通槽，激光发射器，且所述激光发射器设置在安装座上，固定座，所述固定座设置在底座的...
雷志毅
一种用于半导体表面图形金属化的高稳定型化学钯镀液
本发明公开了一种用于半导体表面图形金属化的高稳定型化学钯镀液，包含如下浓度含量的组分：含氨钯盐0.5‑3.5g/L、主络合剂5‑20g/L、辅助络合剂0.1‑20g/L、还原剂1‑8g/L、复合稳定剂5‑50g/L和均一...
姚玉邱雁强
在半导体表面中选择性掺入掺杂剂原子的方法
本发明涉及用于在第IV族半导体晶格的表面部分中嵌入确定数量的掺杂剂原子的方法。该方法包括以下步骤：在表面部分上形成一个或多个微影位点；在低于100K的温度下，使用具有包含掺杂剂原子及氢原子的分子的气体以一方式向表面部分定...
M·西蒙斯J·凯泽尔
一种半导体表面去除氟杂质的方法
本发明提供了一种半导体表面去除氟杂质的方法，所述方法包括以下步骤：(1)在真空条件下对表面附着有氟杂质的半导体于150℃‑300℃下加热处理，同时将活性炭置于半导体所在的空间中；(2)在pH不小于9的碱液中浸泡步骤(1)...
邓三军
一种基于图像识别的半导体表面缺陷检测系统
本发明属于半导体检测技术领域，具体是一种基于图像识别的半导体表面缺陷检测系统，包括服务器、图像扫描采集模块、图像预处理模块、图像定位配准模块、像素瑕疵检测识别模块以及表面缺陷综合评估模块；本发明通过图像预处理模块将所采集...
张腾郑明国
加载更多 ∨

相关作者

于国浩
作品数：122被引量：40H指数：4
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：二维电子气 HEMT器件 氮化物 增强型 半导体表面
张宝顺
作品数：524被引量：203H指数：7
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：二维电子气 电极 HEMT器件 衬底 半导体
蔡勇
作品数：146被引量：24H指数：3
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：二维电子气 HEMT器件 氮化物 半导体表面 介质层
黄维
作品数：2,237被引量：1,743H指数：15
供职机构：南京工业大学
研究主题：钙钛矿 铱配合物 共轭聚合物 咔唑 磷光
李明
作品数：233被引量：62H指数：5
供职机构：上海交通大学
研究主题：铜互连 无铅 焊料 化学接枝 电子材料