2025年7月24日
星期四
|
欢迎来到广东省立中山图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
搜索到
1121
篇“
化学汽相沉积
“的相关文章
资源类型:
全部数字资源类型
期刊文章
政策法规
学位论文
专利
会议论文
标准
专著
科技成果
产品样本
科技报告
全部数字资源类型
全部数字资源类型
期刊文章
政策法规
学位论文
专利
会议论文
标准
专著
科技成果
产品样本
科技报告
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关度排序
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
适于
化学
汽
相
沉积
装置扩散器的吹扫设备
本发明公开了一种适于
化学
汽
相
沉积
装置扩散器的吹扫设备,包括
相
对布置的两个吹扫机器人,吹扫机器人包括用于对扩散器进行吹扫的喷嘴和用于控制喷嘴进行移动的位置调节装置。本发明适于
化学
汽
相
沉积
装置扩散器的吹扫设备,可以提高扩散器...
金卫明
朱传兵
亓露
宋微
张翔
适于
化学
汽
相
沉积
装置扩散器的吹扫设备
本实用新型公开了一种适于
化学
汽
相
沉积
装置扩散器的吹扫设备,包括
相
对布置的两个吹扫机器人,吹扫机器人包括用于对扩散器进行吹扫的喷嘴和用于控制喷嘴进行移动的位置调节装置。本实用新型适于
化学
汽
相
沉积
装置扩散器的吹扫设备,可以提...
金卫明
朱传兵
亓露
宋微
张翔
文献传递
适于
化学
汽
相
沉积
装置扩散器的吹扫设备
本发明公开了一种适于
化学
汽
相
沉积
装置扩散器的吹扫设备,包括
相
对布置的两个吹扫机器人,吹扫机器人包括用于对扩散器进行吹扫的喷嘴和用于控制喷嘴进行移动的位置调节装置。本发明适于
化学
汽
相
沉积
装置扩散器的吹扫设备,可以提高扩散器...
金卫明
朱传兵
亓露
宋微
张翔
化学
汽
相
沉积
装置和利用该装置制造半导体器件的方法
本发明的实施例提供了一种用于制造半导体器件的方法,包括在衬底上形成晶体管。从
化学
汽
相
沉积
(CVD)装置的喷头提供前体气体以形成覆盖晶体管和衬底的接触蚀刻停止层(CESL)。喷头的温度控制在约70℃至约100℃的范围内以控...
郭人华
谢忠儒
杨仁豪
文献传递
热
化学
汽
相
沉积
系统及其操作方法
热
化学
汽
相
沉积
(CVD)系统包括底室、上室、工件支撑件、加热器和至少一个屏蔽板。上室存在于在底室上方。室间隔限定在上室和底室之间。工件支撑件配置为在室间隔中支撑工件。加热器配置为对工件应用热量。屏蔽板配置为至少部分地为底...
罗谚展
赖以方
吕伯雄
刘定一
廖锡文
许凯翔
谢政辉
林贤辉
徐瑞甫
吴成宗
文献传递
化学
汽
相
沉积
设备
本发明提供了
化学
汽
相
沉积
设备。公开了
化学
汽
相
沉积
(CVD)设备。该CVD设备包括处理腔室、基座、辅助支承部件、气体喷射部件和荫罩框架。基座可安装在所述处理腔室中,用于支承和加热母基板。辅助支承部件可以按四角形框架形式安装...
朴昇澈
金熙烈
文献传递
化学
汽
相
沉积
工具及其操作方法
本发明提供了一种
化学
汽
相
沉积
(CVD)工具,包括处理腔室、远程等离子体系统、第一气体源、第二气体源、第一气体通道和第二气体通道。远程等离子体系统连接至处理腔室。第一气体通道连接第一气体源、远程等离子体系统和处理腔室。第二...
李建达
洪本立
石玉山
文献传递
化学
汽
相
沉积
装置和利用该装置制造半导体器件的方法
本发明的实施例提供了一种用于制造半导体器件的方法,包括在衬底上形成晶体管。从
化学
汽
相
沉积
(CVD)装置的喷头提供前体气体以形成覆盖晶体管和衬底的接触蚀刻停止层(CESL)。喷头的温度控制在约70℃至约100℃的范围内以控...
郭人华
谢忠儒
杨仁豪
热
化学
汽
相
沉积
系统及其操作方法
热
化学
汽
相
沉积
(CVD)系统包括底室、上室、工件支撑件、加热器和至少一个屏蔽板。上室存在于在底室上方。室间隔限定在上室和底室之间。工件支撑件配置为在室间隔中支撑工件。加热器配置为对工件应用热量。屏蔽板配置为至少部分地为底...
罗谚展
赖以方
吕伯雄
刘定一
廖锡文
许凯翔
谢政辉
林贤辉
徐瑞甫
吴成宗
化学
汽
相
沉积
设备
本发明提供了
化学
汽
相
沉积
设备。公开了
化学
汽
相
沉积
(CVD)设备。该CVD设备包括处理腔室、基座、辅助支承部件、气体喷射部件和荫罩框架。基座可安装在所述处理腔室中,用于支承和加热母基板。辅助支承部件可以按四角形框架形式安装...
朴昇澈
金熙烈
文献传递
加载更多 ∨
相关作者
靳九成
作品数:102
被引量:200
H指数:8
供职机构:湖南大学
研究主题:金刚石薄膜 金刚石 防锈油 化学气相沉积 天文学
陈宗璋
作品数:172
被引量:998
H指数:17
供职机构:湖南大学化学化工学院
研究主题:氧化锆 金刚石薄膜 C_ 电沉积 氟化石墨
唐璧玉
作品数:25
被引量:34
H指数:4
供职机构:湘潭大学
研究主题:金刚石薄膜 化学气相沉积 金刚石 化学汽相沉积 CVD
周之斌
作品数:71
被引量:65
H指数:5
供职机构:上海交通大学
研究主题:太阳电池 透明导电薄膜 氮化碳薄膜 纳米硅薄膜 光伏材料
季天仁
作品数:19
被引量:34
H指数:4
供职机构:电子科技大学物理电子学院
研究主题:微波等离子体 化学汽相沉积 CVD 微波化学 场致发射
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张